【先进制程集成电路制造】公司产品主要应用于成熟或先进制程集成电路制造的12英寸集成电路制造产线。公司是目前国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商,也是目前国内极少数实现半导体专用工艺废气处理设备规模装机应用的设备制造商,公司产品技术水平国内领先、国际先进。公司半导体专用温控设备产品主要用于90nm到14nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;半导体专用工艺废气处理设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片以及64层到192层3DNAND等存储芯片制造中若干关键步骤的大规模量产;晶圆传片设备产品主要用于90nm到28nm逻辑芯片制造中若干关键步骤的大规模量产。
更新时间:2024-12-23 11:02:06