入选理由:公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售,主营产品包括半导体专用温控设备(Chiller)、半导体专用工艺废气处理设备(Local Scrubber)和晶圆传片设备(Sorter)。公司自成立以来,主营业务未发生重大变化。公司产品在晶圆制造过程中得到广泛应用,属于晶圆制造过程中必不可少的设备。公司产品主要应用于成熟或先进制程集成电路制造的12英寸集成电路制造产线。在逻辑芯片领域,28nm以下为业内先进制程,公司产品已经适配国内最先进的14nm逻辑芯片制造产线;在3D NAND存储芯片领域,128层以上(含128层)为业内先进制程,公司产品已经适配国内最先进的192层3D NAND存储芯片制造产线。