【中大型超高纯制氮装置】对于大规模的供气需求,公司与外资气体公司均开发了中大型超高纯制氮装置。公司自主研发的“Super-N”系列制氮装置在5,000Nm3/h及以上的供气量时,能够不通过后置纯化系统即可直接产出杂质含量控制在1ppbv以内的氮气,较外资气体公司7,000Nm3/h的最低供气量更具有宽容度,满足客户多样化的用气需求。此外,公司中大型超高纯制氮装置的最高设计供气规模虽然低于外资气体公司,但已满足目前国内大多数集成电路制造行业的需求,随着国内行业的不断进步,公司将不断研发创新,掌握更大规模超高纯制氮装置的技术能力。综上所述,公司制氮装置的技术水平与外资气体公司的先进水平一致。
更新时间:2024-03-29 10:50:47