【募资10亿投建高端半导体设备等】2022年5月,公司完成124.29元/股非公开发行8,045,699股,募集资金总金额999,999,928.71 元,扣除发行费用后将用于上海临港研发及产业化项目、高端晶圆处理设备产业化项目(二期)、补充流动资金。其中,上海临港研发及产业化项目计划总投资额为64,000.00万元,项目建成并达产后,主要用于研发与生产前道ArF光刻工艺涂胶显影机、浸没式光刻工艺涂胶显影机及单片式化学清洗机等高端半导体专用设备。高端晶圆处理设备产业化项目(二期)计划总投资额为28,939.27万元,项目建成并达产后,主要用于前道I-line与KrF光刻工艺涂胶显影机、前道Barc(抗反射层)涂胶机以及后道先进封装Bumping制备工艺涂胶显影机。通过建设上海临港研发及产业化项目,公司将在前道先进制程设备研发及产业化领域实现进一步突破,进一步增强我国产业链自主可控能力。公司拟使用本次募集资金建设高端晶圆处理设备产业化项目(二期),提升现有量产半导体设备的供货能力,满足下游客户多元化的定制需求。
更新时间:2022-06-24 08:11:20