【晶圆制造用化学机械研磨液】公司化学机械研磨液主要包括适用于浅槽隔离研磨液(STI Slurry)、金属钨研磨液(W Slurry)、金属铜研磨液(Cu Slurry),硅氧化层研磨液(Oxide Slurry),多晶硅层研磨液(Poly Slurry)等系列产品,研磨液产品可覆盖14nm及以上技术节点。在研磨液系列产品方面,基础研发、生产工艺、分析开发等方面工作按计划推进,已有成熟的STI Slurry、Poly slurry,Wslurry系列产品在超过20余家客户端测试验证,并不断配合客户研发新产品系列,其中W slurry系列产品在客户端验证顺利,具备大规模量产的产品性能。2024年上半年公司化学机械研磨液已有多款产品通过客户测试,销售量持续攀升。
更新时间:2025-01-16 10:49:30