核心观点：

    　　业绩符合预期。公司于10月30日发布三季报，24年Q1-3公司实现收入35.01亿元，同比+45.23%，归母净利润3.32亿元，同比+22.58%，扣非归母净利润3.09亿元，同比+54.67%；单看Q3，实现营收16.49亿元，同比+54.63%，环比+30.51%，归母净利润2.27亿元，同比+87.72%，环比+183.24%，扣非归母净利润1.95亿元，同比+55.63%，环比+99.56%，毛利率27.47%，同比-0.78pct，环比+0.79pct，净利率14.63%，同比+3.16pct，环比+7.55pct，收入放量后利润率提升明显。

    　　在手订单饱满，OPEX业务进展明显。根据公司三季报的披露，公司在手订单充足，IC行业占比约50%，公司非设备类业务（零部件和模组、气体和先进材料、MRO业务）合计新签合同同比增长83%，由于公司近年非设备类业务发展迅猛，新签合同占比已超过38%，公司产品和业务结构已发生较大改变；公司第三季度经营性现金流净额为2.4亿元，同比增长107%，公司前三季度应收款项同比增长25%，收入同比增长45%，应收款项的增幅远低于当期收入的增幅，回款力度大幅提升。

    　　盈利预测与投资建议。预计公司2024-2026年实现归母净利润5.47、7.35、9.30亿元，EPS分别为1.90、2.55、3.23元/股，根据可比公司的估值情况，结合公司在设备行业积极开拓，以及在气体等OPEX等领域进展较为迅速，因此给子公司2024年24x的PE估值，对应合理价值45.55元/股，维持“买入”评级。

    　　风险提示。下游扩产不及预期；新业务开拓不及预期；应收账款无法收回的风险。