核心观点

    　　2022 年公司各版块业务均取得大幅增长，营收、利润均实现高增，电子工艺设备板块带动盈利能力稳步提升，全年新接合同41.34亿元，同比增长53%，为后续业绩提供保障。进入2023Q1，公司新签及在手订单仍保持较高速增长，公司三位一体服务已取得初步成效，展望全年，CAPEX 业务期待下游光伏及半导体行业扩产和鸿舸半导体GAS BOX 业务快速增长，OPEX 业务关注气体业务产能扩张落地带来的规模增长，全年业绩表现值得期待。

    　　事件

    　　①公司发布2022 年年报，2022 年公司实现营业收入27.05 亿元，同比增长47.26%，归母净利润2.59 亿元，同比增长53.61%，扣非归母净利润2.14 亿元，同比增长55.87%。其中，Q4 单季度实现营收9.01 亿元，同比增长49.75%，归母净利润1.21 亿元，同比增长99.33%，扣非归母净利润0.87 亿元，同比增长92.60%。

    　　②公司发布2023 年一季报，2023Q1 公司实现营业收入4.11 亿元，同比增长13.42%；归母净利润0.11 亿元，同比下降0.97%；扣非归母净利润0.07 亿元，同比增长119.11%。

    　　简评

    　　业绩持续高增长，订单支撑强劲

    　　营业收入高速增长，电子工艺设备为主要来源。下游太阳能光伏和平板显示行业发展提速，2022 年公司实现营业收入27.05 亿元，同比增长47.26%，实现大幅增长。2022 年新签合同达41.34 亿元，同比增长53%，订单支撑强劲。营收分产品来看，公司电子工艺设备、生物制药设备、电子气体、MRO 业务分别实现营收18.99、3.45、2.43、2.15 亿元，同比分别+47.92pct、+105.43pct、+38.09pct、+14.50pct，传统业务电子工艺设备为主要收入来源。营收分下游来看，2022 年公司集成电路、光伏、生物医药、显示、化合物半导体领域营收分别为10.76、7.90、3.77、1.37、1.07 亿元，同比分别+131.90pct、+24.47pct、+102.30pct、-42.09pct、+9.27pct。

    　　2022 年公司集成电路、光伏领域营收占比分别为39.79%、29.22%，同比分别+14.53pct、-5.35pct，集成电路领域营收占比持续提升，成为公司主要收入来源。

    　　电子工艺设备毛利率提升带动整体盈利能力改善。从盈利能力角度来看，公司毛、净利率分别为27.46%、9.66%，同比分别+1.28pct、+0.50pct，分产品来看，电子工艺设备、生物制药设备、电子气体、MRO 业务毛利率分别为27.66%、24.35%、17.73%、41.29%，同比+2.85pct、-1.10pct、-1.98pct、+0.65pct，电子工艺设备带动公司整体盈利能力提升。分下游来看，2022 年公司光伏、集成电路、生物医药、化合物半导体及显示领域毛利率分别为31.31%、25.72%、25.14%、24.33%、20.14%，同比分别+7.10pct、-4.21pct、-4.14pct、-0.95pct、-2.52pct，光伏领域毛利率实现较大幅增长。

    　　费用端来看，2022 年公司期间费用率为17.41%，同比+1.26pct，其中销售、管理、研发、财务费用率分别为1.77%、9.82%、5.54%、0.28%，同比分别-0.45pct、-0.05pct、+1.28pct、+0.48pct，公司加强运营管理，销售及管理费用率均有所下降，同时持续加大研发投入，推进技术拓展更新与产业升级，2022 年研发投入达1.50 亿元，同比增长91.65%。归结到利润端，2022 年公司归母净利润为2.59 亿元，同比+53.61%，扣非归母净利润达2.14 亿元，同比+55.87%；2022 年期权激励造成的股份支付费用0.40 亿元，剔除股份支付的因素，公司实现归母净利润2.98亿元，同比增长64.77%，扣非归母净利润2.54 亿元，同比增长69.13%，盈利能力大幅提升。

    　　Q1 营收小幅增长，合同负债持续提升

    　　2023Q1 收入小幅增长，研发投入持续加大。2023Q1 公司营收4.11 亿元，同比增长13.42%，一季度为公司经营淡季，在2023 年1 月疫情影响尚未完全消除的情况下，公司营收仍实现小幅增长。归母净利润0.11 亿元，同比下降0.97%，主要由于2022 年一季度政府补助约769.78 万元，导致2022Q1 归母净利润基数相对较高导致。

    　　从盈利能力来看，公司毛、净利率分别31.35%、3.64%，同比分别+7.07pct、+0.36pct。一季度公司期间费用率同比+7.19pct，其中研发费用率同比+3.87pct，持续加大研发投入。

    　　新签及在手订单大幅增长，业绩支撑强劲。2023 年一季度公司新签合同14.79 亿元，同比增长25.9%。截至2023年一季度末，公司合同负债达14.25 亿元，相比2022 年底增长28.17%，在手订单支撑强劲，预计公司2023 年营收仍将维持高速增长。

    　　CAPEX 业务：电子工艺设备横向扩张初见成效，生物制药设备蓬勃发展①电子工艺设备：下游扩产支撑业绩增长，GAS BOX 贡献新收入增长极。2022 年公司电子工艺设备营收18.99亿元，同比增长47.92%，收入占比达84.64%，为公司现阶段主要收入来源，分为高纯介质供应系统（传统主营业务）与泛半导体工艺设备模块与子系统（2022 年新开发业务）两块业务，具体而言：

    　　1）高纯介质供应系统：公司产品已具备国际竞争力，长期服务国内包括中芯国际、海力士、长江存储、京东方、惠科、通威、隆基、三安等在内的头部泛半导体行业客户。下游IC、光伏扩产持续，公司高纯介质供应系统业务有望维持较高增速。

    　　2）泛半导体工艺设备模块与子系统：公司主要产品工艺设备流体系统GAS BOX 适用于8-12 英寸集成电路、平板显示、光伏太阳能、光纤及微电子等行业，目前已向国内头部半导体设备（北方华创、拓荆科技、中微公司、晶盛机电等）和光伏电池片工艺设备厂商（迈为股份等）批量供货。GAS BOX 国际供应商市占率超90%，公司子公司鸿舸半导体填补了GAS BOX 国产化空白，并获得国内头部工艺设备商的广泛认证，新签订单迅速放量。受益于下游需求向好及半导体设备零部件国产化替代加速，新业务有望实现快速增长。

    　　②生物制药设备：已覆盖多家头部客户，业务从设备向原辅料耗材领域延伸。2022 年公司生物医药领域收入3.45亿元，营收占比15.36%，同比增长105.43%，营收大幅增长。公司覆盖包括长春金赛、百奥泰、信念医药、科前生物、沃森生物等多家头部行业客户，生物制药业务子公司正帆百泰深耕生物制药行业CAPEX 业务-生物制药设备，同时开始布局进入生物医药OPEX 业务-原辅料耗材领域。

    　　OPEX 业务：大宗气布局快速推进，MRO 服务维持稳步成长①气体业务：产能扩张预计下半年落地，气体品类及规模大幅增长。2022 年公司电子气体收入2.43 亿元，占比8.97%，同比增长38.09%。公司气体业务实施电子特气和大宗气“双轮驱动”布局，①电子特气：加快铜陵电子特气项目建设，扩大已有较强市场优势的砷烷、磷烷、混合气等自研自产电子特气产能；②大宗气：简易定增募资推动潍坊高纯大宗气项目、合肥高纯氢气项目建设；市场化收购液氧、液氮、液氩生产企业苏州华业70%股份，进一步丰富气体品类。投产进度来看，铜陵电子特气项目、潍坊大宗气项目以及合肥高纯氢气项目都将于2023 年下半年逐步投产释放产能，随着项目顺利投产，公司将进一步拓宽气体品类及整体产能规模，成为业内领先的电子特气业务综合供应商和服务商。

    　　②MRO 业务：公司已具备提供一站式服务能力，下游新建项目投产运营带动MRO 市场快速释放。公司是国内为数不多能为客户提供关键系统、核心材料、专业服务三位一体的本土厂商，已经具备为客户提供MRO 一站式服务的综合能力，且下游客户接受程度较高。随着客户CAPEX 投资建成的产线逐步投入运营，公司MRO业务将会有更大的提升。

    　　投资建议

    　　预计公司2023-2025 年营业收入分别为38.42、51.38、65.62 亿元，同比分别增长42.05%、33.74%、27.70%，2023-2025 年归母净利润分别为4.04、6.12、7.95 亿元，同比分别增长56.32%、51.26%、30.06%，对应2023-2025年PE 估值分别为28.23x、18.66x、14.35x，维持“买入”评级。

    　　风险分析

    　　1）下游扩产不及预期：若疫情、行业周期下行等因素导致下游投资、扩产意愿降低，将对公司的业务发展和经营业绩造成不利影响。

    　　2）新产品开拓、产能扩张不及预期：若新产品开拓与气体产能扩张不及预期，则会对其未来经营业绩的持续提升产生不利影响。

    　　3）技术创新风险：若公司新产品研发无法保持或后续研发投入不足，公司将面临市场竞争力下降的风险。

    　　4）供应链持续紧张风险：若公司持续受到供应链紧张影响，则会对公司产能以及收入产生不利影响。