事件：公司发布2022年报和2023年一季报。

    集成电路业务快速放量，2022 年收入端延续快速增长2022 年公司实现营业收入27.05 亿元，同比+47.26%，其中Q4 为9.01亿元，同比+49.75%，基本符合我们预期。分行业来看：1）集成电路：2022年实现收入10.76 亿元，同比+131.90%，是收入端增长主要驱动力，我们判断一方面受益于集成电路行业大规模扩产，公司高纯工艺系统需求旺盛，另一方面系Gas Box 快速放量，同样贡献不俗增量；2）光伏：2022 年实现收入7.90 亿元，同比+24.47%；3）化合物半导体：2022 年实现收入1.07 亿元，同比+9.27%；4）平板显示：2022 年实现收入1.37 亿元，同比-42.09%，受面板行业景气下滑明显拖累；5）生物医药：2022 年实现收入3.77 亿元，同比+102.30%，实现高速增长。6）光纤通信：2022 年实现收入1653 万元，同比-43.80%，明显下滑。分产品来看：1）电子工艺装备：

    2022 年实现收入18.99 亿元，同比+47.92%；2）生物制药设备：2022 年实现收入3.45 亿元，同比+105.43%；3）电子气体：2022 年实现收入2.43 亿元，同比+38.09%；4）MRO：2022 年实现收入2.15 亿元，同比+14.50%。

    2023Q1 公司实现营业收入4.11 亿元，同比+13.42%，增速有所放缓，我们判断一方面系Q1 为传统收入确认淡季，另一方面系2022 年12 月疫情延续到2023 年1 月份，叠加春节影响，客户在2 月份后才开始大规模开工，一定程度上影响公司订单交付。截至2023Q1 末，公司存货和合同负债分别为24.80 和14.25 亿元，分别同比+88.23%和+48.33%，分别较2022 年底增长25.02%和28.17%。新签订单方面，公司2022 年新签订单41.34 亿元，同比增长52.50%。2023Q1 新签订单14.79 亿元，同比+25.9%，低于我们预期，主要部分订单未签订合同延后到Q2。公司在手订单充足，将保障2023 年收入端高速增长。

    股份支付费用压制利润端表现，2022 年销售净利率同比基本持平2022 年公司实现归母净利润2.59 亿元，同比+53.61%，其中Q4 为1.21亿元，同比+99.33%，落于业绩预告中位区间（2.53-2.70 亿元）。2022 年公司销售净利率为9.66%，同比+0.51pct，略有增长。1）毛利端：2022 年销售毛利率为27.46%，同比+1.29pct，其中电子工艺设备、生物制药设备、电子气体、MRO 和其他业务毛利率分别为27.66%、24.35%、17.73%、41.29%和45.91%，分别同比+2.85pct、-1.10pct、-1.98pct、+0.66pct 和+7.55pct，电子工艺设备毛利率提升是销售毛利率提升的主要驱动力。2）费用端：

    2022 年期间费用率为17.41%，同比+1.26pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.45pct、-0.05pct、+1.28pct 和+0.48pct，研发费用率明显上提，一定程度上压制盈利水平。2022 年公司股份支付费用达到3977万元，若剔除股份支付费用影响，2022 年公司扣非归母净利润为2.54 亿元，同比+69.13%，明显高于收入端增速，真实盈利水平表现十分出色。

    2023Q1 公司实现归母净利润1115 万元，同比-0.97%，实现扣非归母净利润735 万元，同比+119.11%。2023Q1 公司销售净利率和扣非销售净 利率分别为3.64%和1.79%，分别同比+0.35pct 和+0.86pct，略有提升。

    2023Q1 销售毛利率为31.35%，同比+7.07pct，2023Q1 期间费用率达到28.12%，同比+7.19pct，明显压制毛利率上升对于净利率的正向贡献。

    工艺介质系统有望持续扩张，Gas Box 和OPEX 业务打开成长空间公司在稳固工艺介质供应系统市场龙头地位的同时，积极布局半导体设备零部件（Gas Box），并不断拓展电子气体、MRO 等OPEX 业务，不断打开成长空间。1）工艺介质供应系统：若仅考虑半导体行业，我们估算2021 年中国大陆工艺介质供应系统市场规模为144 亿元，2023 年有望达到206 亿元。若再考虑到光伏等行业需求，我们判断2021 年本土工艺介质供应系统市场规模将突破200 亿元。2022 年公司电子工艺设备实现收入18.99 亿元，我们预估公司在本土市场份额不足10%，成长空间依旧较大。

    2）Gas Box：若仅考虑半导体设备需求，我们预估2021 年全球和中国大陆Gas Box 市场规模分别为163 和47 亿元，2023 年有望达到192 和67 亿元。若再考虑光伏、面板显示等行业需求，我们判断2021 年中国大陆GasBox 市场规模将超过100 亿元。半导体设备零部件全球供应链紧张、贸易摩擦加速国产替代诉求，公司正在积极对接半导体&光伏设备客户，有望进入快速放量阶段。3）OPEX：（1）电子气体：公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一，2022 年募投项目重点布局电子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展。（2）MRO：公司为本土少数具备MRO一站式服务的综合能力的企业，后市场服务有望快速放量。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2023-2024年公司归母净利润分别为4.03 和 5.69 亿元，并预计2025 年归母净利润为7.56 亿元，当前市值对应动态 PE 分别为 31、22 和17 倍。基于公司的高成长性，维持“增持”评级。

    风险提示：下游资本开支下滑、市场竞争加剧、新业务开展不及预期等。