核心观点：

    Capex 下游行业高速增长，Opex 穿越行业周期形成稳定现金流。2021年公司Capex（电子工艺设备、生物制药设备）、Opex（高纯特种气体、MRO 及其他）业务的营收占比分别为79%、21%，产品下游主要覆盖泛半导体（集成电路、光伏、平板显示、LED）、光纤、生物医药等高端制造领域。公司设备已切入中芯国际、京东方等核心客户，伴随半导体和光伏行业扩产进入高速增长期。同时公司的定位从“卖铲人”

    逐渐向“买水人”转变，发展磷烷、砷烷等电子气体业务和服务，第二成长曲线穿越周期，形成持续性现金流。

    工艺介质设备、电子气体市场空间均超百亿元，国产替代正在加速。

    经测算，2021 年中国工艺介质系统（半导体、光伏、平板显示、生物制药）、电子气体市场空间为181、300 亿元。从竞争格局看，国内高端产品市场仍大部分被海外寡头垄断，本土企业普遍规模较小，国产替代正当时，公司通过核心技术在产品纯度、工艺控制走在内资企业前列，有望顺应国产替代大潮实现高增长。

    外延大宗气体和半导体气柜模组业务，公司发展趋于平台化。2022 年公司拟定向募集资金发展氢气、氧气、氩气等电子大宗气体业务，与砷烷、磷烷等电子特种气体业务互为补充；同时在设备领域，公司由外部厂务系统深入到设备模组，积极开拓气柜模组业务（Gas Box）。

    公司逐渐由设备供应商成长为泛半导体领域工艺介质平台化公司。

    盈利预测与投资建议：预计2022-2024 年归母净利润分别为2.41、3.90、5.46 亿元，EPS 分别为0.90、1.46、2.04 元/股，参考可比公司，给予公司2023 年35 倍PE，对应合理价值50.97 元/股，给予“买入”评级。

    风险提示：原材料采购风险；突发公共卫生事件等不可抗力影响的风险，技术升级迭代风险。