事件：公司发布2022年三季报。

    　　Gas Box 进入快速放量阶段，Q3 收入端实现高速增长2022Q1-Q3 公司实现营业收入18.04 亿元，同比+46.04%；其中Q3 营收为8.61 亿元，同比+92.44%，增速较上半年提升明显。2022Q3 收入端同比大幅增长，我们判断主要系2022Q2 部分业务开展受上海疫情明显拖累，相关订单在2022Q3 加速交付。1）分行业来看，受益于集成电路、光伏行业大规模扩产，我们判断公司IC 行业收入同比大幅增长，光伏行业收入同比稳健增长。此外，随着生物医药设备持续完善，我们判断生物医药行业收入同样大幅增长。2）分产品来看，在工艺介质供应系统、电子特气等快速增长的同时，公司Gas Box 也进入快速放量阶段。2022Q1-Q3 子公司鸿舸半导体实现收入1.68 亿元，2021 年收入仅为1.89 万元，大幅增长。

    　　展望未来，本土晶圆厂、光伏电池片厂仍在大规模扩建，对工艺介质供应系统的需求维持高位，叠加Gas Box 市场需求旺盛，公司在手订单饱满。

    　　截至2022Q3 末，公司存货和合同负债分别达到17.8 和9.89 亿元，分别同比+73.10%和+35.11%。随着相关订单陆续交付，我们预计2022Q4-2023 年公司收入端有望延续高增长。

    　　股份支付压制利润端增速，Q1-Q3 盈利水平略有下降2022Q1-Q3 公司实现归母净利润1.37 亿元，同比+27.67%；其中2022Q3为8436 万元，同比+58.33%，略超市场预期。2022Q1-Q3 扣非归母净利润为1.27 亿元，同比+37.87%，其中2022Q3 为8233 万元，同比+93.01%。

    　　2022Q1-Q3 销售净利率为7.68%，同比-1.02pct；扣非销售净利率为7.05%，同比-0.42pct，盈利水平略有下降。1）毛利端：2022Q1-Q3 销售毛利率为27.62%，同比+0.90pct，略有提升。我们判断一方面系零部件国产化积极推进的降本效应；另一方面系公司对客户议价能力提升。此外，公司在原材料价格较好时积极进行存货储备，也对毛利端起到积极作用。2）费用端：

    　　2022Q1-Q3 期间费用率为18.10%，同比+1.39pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.43、-0.40、+1.17 和+1.04pct，研发费用率提升，主要系加大研发投入。3）2022Q1-Q3 存在期权激励造成的股份支付3539万元，若剔除股份支付，2022Q1-Q3 归母净利润和扣非归母净利润分别为1.68 和1.58 亿元，分别同比+46.25%和+58.54%，高于收入端增速。

    　　工艺介质系统有望持续扩张，Gas Box 和OPEX 业务打开成长空间公司在稳固工艺介质供应系统市场龙头地位的同时，积极布局半导体设备零部件（Gas Box），并不断拓展电子气体、MRO 等OPEX 业务，不断打开成长空间。1）工艺介质供应系统：若仅考虑半导体行业，我们预估2021 年中国大陆工艺介质供应系统市场规模为144 亿元，2023 年有望达　　到206 亿元。若再考虑到光伏等行业需求，我们判断2021 年本土工艺介质供应系统市场规模将突破200 亿元。2021 年公司电子工艺设备实现收入12.83 亿元，我们预估公司在本土市场份额不足10%，成长空间依旧较大。

    　　2）Gas Box：若仅考虑半导体设备需求，我们预估2021 年全球和中国大陆Gas Box 市场规模分别为163 和47 亿元，2023 年有望达到192 和67 亿元。若再考虑光伏、面板显示等行业需求，我们判断2021 年中国大陆GasBox 市场规模将超过100 亿元。半导体设备零部件全球供应链紧张、贸易摩擦加速国产替代诉求，公司正在积极对接半导体&光伏设备客户，有望进入快速放量阶段。3）OPEX：（1）电子气体：公司是国内为数不多能稳定量产电子级砷烷、磷烷的企业之一，2022 年募投项目重点布局电子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展。（2）MRO：公司为本土少数具备MRO一站式服务的综合能力的企业，后市场服务有望快速放量。

    　　盈利预测与投资评级：受益于半导体&光伏行业大规模扩产需求，我们维持2022-2024 年公司归母净利润分别为2.21、4.00 和5.73 亿元，当前市值对应动态PE 分别为49、27 和19 倍，维持“增持”评级。

    　　风险提示：下游资本开支下滑、市场竞争加剧、新业务开展不及预期等。