事件：中科飞测发布2023 年报与2024Q1 季报。2023 年全年公司实现营收8.91亿元，同比增长74.95%；归母净利润1.40 亿元，同比增长1072.38%。24Q1公司实现营收2.36 亿元，同比增长45.60%；归母净利润0.34 亿元，同比增长9.16%。

    　　保持高额研发投入，产品线与工艺覆盖不断扩张：2023 年公司研发投入达22,824.98 万元，同比增长 10.93%。在充裕研发费用的支持下，公司量检测设备技术研发与产业化进展顺利，核心产品已包括无图形缺陷检测、明场/暗场纳米缺陷检测、三维形貌测量、膜厚检测、套刻精度测量等多种设备。

    　　套刻测量设备有效支持光刻工艺：中科飞测的套刻精度量测设备已实现批量销售，订单量快速增长，市占率稳步提升；中科飞测的套刻设备在逻辑芯片制造过程中经过多层光刻工艺后，仍保持高稳定性和高精度；在存储芯片领域可测量超厚光刻胶上的光刻偏移量，有效地解决存储工艺高深宽比结构带来的光刻工艺问题。

    　　明场/暗场纳米设备研发稳步有序：明场/暗场纳米设备可实现对复杂电路图形的缺陷检测，是有极高技术壁垒的量检测设备。公司目前已完成明场纳米设备样机研发，正积极开样片的验证测试，并小批量出货到客户产线进行工艺开发与应用验证，进展顺利。暗场设备样机也已完成，正积极开展国内多家主流客户的多种复杂图形工艺样片的验证测试。

    　　投资建议：基于中科飞测各类设备的研发与量产进度，我们预计公司2024-2026年实现营业收入12.82/18.16/24.15 亿元，归母净利润2.01/2.88/4.30 亿元，对应PE 为78.76/55.02/36.80 倍，维持“增持”评级。

    　　风险提示：行业景气度下行；客户需求放缓；研发进度不及预期；行业竞争加剧。