中科飞测发布2023 三季报，前三季度收入5.88 亿元，同比+128%；归母净利润0.8 亿元，同比增加1.03 亿元，大幅扭亏为盈，维持“增持”投资评级。

    　　2023 年收入同比高增长，利润规模不断增厚。2023 前三季度收入5.88 亿元，同比+128%；归母净利润0.8 亿元，同比增加1.03 亿元；扣非净利润0.2 亿元，同比增加1.09 亿元。非经常损益主要为政府补助0.56 亿元，以及公允价值变动收益和投资收益0.05 亿元。

    　　23Q3 收入环比稳健增长，扣非净利率创历史新高。23Q3 收入2.22 亿元，同比+62.4%/环比+9.1%；毛利率47.6%，环比-0.5pct；归母净利润0.33 亿元，同比+241%/环比+128%；扣非净利润0.16 亿元，同比扭亏为盈，增加0.32 亿元/环比+421%；扣非净利率7.4%，为历史最高。

    　　套刻精度和金属膜厚量测设备成为新增长点，明场/暗场检测等新品持续开发。公司收入主要来自无图形和图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备，套刻精度量测设备和金属膜厚量测设备成为收入新增长点，套刻精度量测设备在成熟工艺节点实现批量供应，在先进工艺产线已经通过部分客户验证，多台金属膜厚量测设备已实现批量出货。针对2Xnm 节点，公司明场和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备研发进展顺利；针对1Xnm节点，持续性研发布局多款检测和量测设备。

    　　投资建议。公司2023 前三季度收入和业绩同比高增长，考虑到国内检测/量测设备市场国产化空间较大、公司产品品类不断拓展，未来公司收入有望延续稳健增长态势；同时，对标国内其他设备公司，在收入的规模效应逐步显现后，利润率将得到显著提升，因此预计公司长期盈利能力向好。我们预计公司2023/2024/2025 年收入为8.0/11.4/15.3 亿元，对应PS为31.3/21.9/16.4倍，预计2023/2024/2025 年归母净利润为0.97/1.57/2.54 亿元，对应PE 为259.7/159.7/98.9 倍。维持“增持”投资评级。

    　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，美国半导体设备出口管制加剧，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。