一季度收入确认较少，营收利润相对承压。公司2022 年实现营业收入6.8亿元，同比+60.0%；实现归母净利润0.5 亿元，同比+17.4%。23Q1 实现营收0.8 亿元，同比-43%，环比-75%；实现归母净利润-0.01 亿元，同比-142%，环比-102%。23Q1 公司营收明显下降，而研发费用相对刚性，导致净利润出现微亏。营收下降的主要原因是公司的专用设备产品从发货到验收周期较长（一般6-14 个月），而2022 年上半年受到江浙沪地区疫情影响，因此公司2022 年的设备产品发货交付主要集中在下半年，导致23Q1 确认收入较少。

    　　行业TOPCon 技术率先放量，公司光伏设备销量大幅提升。经过2022 年部分组件商、电池商的先驱探索，N 型TOPCon 技术的经济性已得到充分验证。目前N 型TOPCon 正面氧化铝钝化膜基本全部采用ALD 技术，微导纳米在该环节竞争优势明显。公司2022 年光伏设备销售102 台，同比增加76%；光伏设备实现营业收入5.0 亿元，同比增加82%。在P 型电池转换效率接近天花板的背景下，降本增效需求将进一步驱动光伏电池技术的迭代，TOPCon 产能有望呈现加速扩张趋势，公司有望充分受益。

    　　半导体设备进展顺利。半导体领域内，公司加速了各细分领域的产品研发、产业验证和应用，实现多项ALD、CVD 技术产业化的突破，在保持ALD 产品市场竞争力的同时，不断推出更多具备竞争力的CVD 系列产品。半导体设备半导体设备销售6 台，同比提升500%。半导体设备实现营业收入0.47 亿元，同比增长86%。

    　　在手订单充裕，后续增长可期。截止2022 年12 月底，公司在手专用设备订单22.9 亿元，其中光伏设备订单19.7 亿元，半导体设备订单2.6亿元，其他设备订单0.69 亿元。2023 年1-4 月，公司新增专用设备订单22.7 亿元。公司在手订单充裕，保障后续销售规模和经营业绩持续快速增长。

    　　风险提示：光伏电池技术迭代风险，公司产品拓展不及预期，光伏设备行业竞争加剧等。

    　　投资建议：维持盈利预测。我们预计23-25 年公司实现归母净利润1.57/2.54/3.31 亿元，同比增速189%/62%/31%，对应5 月12 日收盘价的动态PE 为126.8/78.2/60.0x。