核心观点
2023Q1 公司业绩维持高增，合同负债环比2022 年底增长约15%，在手订单充足，全年业绩有保障。2023 年4 月，公司也发布股权激励草案，覆盖约515 人，主要考核营收增长率与专利数量，绑定优秀人才，有利于公司未来发展。中长期角度来看，公司核心清洗设备可覆盖工艺不断拓展、竞争力持续增强，电镀、炉管等设备也进入放量阶段，此外，公司也推出Track、PECVD 等新产品，可覆盖市场空间扩大，平台化布局加速落地。
事件
公司发布2023 年一季报。2023Q1 公司实现营业收入6.16 亿元，同比增长74.09%；归母净利润1.31 亿元，同比增长2937.19%；扣非归母净利润1.09 亿元，同比增长360.26%。
公司发布限制性股票激励计划。拟向激励对象授予1331 万股限制性股票，约占公告时公司股本总额的3.07%，授予价格为50.15 元/股，激励对象总人数为515 人，占公司2022 年底职工人数的42.95%。包括董事、高管、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。
简评
Q1 业绩维持高增，合同负债持续提升
2023Q1 公司营收6.16 亿元，同比+74.09%，继续实现高速增长，预计清洗设备产销量大幅提升，其他设备也持续验证。归母净利润1.31 亿元，同比+2937.19%；扣非归母净利润1.09 亿元，同比+360.26%。毛利端来看，公司毛利率为54.61%，同比+7.45pct，我们预计主要得益于产品结构变化以及规模效应。费用端来看，期间费用率为33.51%，同比-6.48pct，其中研发费用率同比-6.89pct，主要系营收规模提升带动费用率下降。净利端来看，毛利率提升与费用率下降共同驱动净利率提升，净利率、扣非净利率分别达21.26%、17.64%，同比分别+20.04pct、+10.97pct。截至2023Q1，公司合同负债达9.44 亿元，相比2022 年底增长14.86%，预计公司在手订单持续增长，为后续业绩提供保障。
发布股权激励草案，主要考核营收增长率与专利数量公司发布2023 年限制性股票激励计划。拟向激励对象授予1331万股限制性股票，约占公告时公司股本总额的3.07%，授予价格为50.15 元/股，激励对象总人数为515 人，占公司2022 年底职 工人数的42.95%。包括董事、高管、核心技术人员及董事会认为需要激励的其他人员。主要考核2023-2026 年的营业收入增长率与专利申请数量。本次股权激励计划健全了公司中长期激励机制，绑定优秀人才，有利于公司长远发展。
核心产品竞争力不断增强，新产品陆续推出加速“平台化”布局落地（1）清洗设备：作为公司业绩基本盘，不断加大新产品与先进制程研发，提升其可覆盖空间。根据公司公众号，2022 年公司Ultra C wb 槽式湿法清洗设备、18 腔300mm Ultra C VI 单晶圆清洗设备等代表产品获得国内头部客户订单，2023 年2 月12 腔单片SAPS 兆声波清洗设备收到欧洲某客户订单。
（2）电镀、立式炉管等其他前道设备：电镀设备增长显著，成为公司收入增量重要来源，2022 年2 月公司获得了13 台Ultra ECP map 前道铜互连电镀设备及8 台Ultra ECP ap 后道先进封装电镀设备的多个采购订单；2022 年5 月，公司与国内先进晶圆级封装客户签订了Ultra ECP ap 高速电镀设备的批量采购订单，数额为10台。炉管设备方面，2022 年9 月立式炉产品运往客户端验证。
（3）涂胶显影、PECVD 等新产品：涂胶显影设备方面，2022 年公司首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备 Ultra LITH TM 成功出机，向国内客户交付前道ArF Track 设备，将于2023 年推出i-line 设备，开始研发KrF 设备。PECVD 设备方面，2022 年公司首次推出PECVD 设备，支持逻辑和存储领域。公司可覆盖市场空间不断扩大
投资建议
预计公司2023-2025 年归母净利润分别为8.51、11.59、14.08 亿元，同比分别增长27.23%、36.33%、21.48%，对应PE 分别为54.75x、40.16x、33.06x，维持“买入”评级。
风险分析
1）终端消费市场复苏不及预期：若AI、3C、汽车、新能源等行业需求不达预期，会影响晶圆代工厂及封测厂资本扩张，进而影响半导体设备需求；
2）国产设备进口替代不及预期：若国产设备商在先进制程方面的突破不及预期，将影响下游客户先进制程产线扩张，从而影响国产设备需求；
3）对华半导体制程限制加剧：若地缘政治摩擦升级，或将加剧对华半导体制程限制，从而影响国内晶圆/封测厂扩产，最终影响国产半导体设备需求。