投资要点：前三季度扣非后归母净利润同比增 403.62%；在手订单总额达46.44 亿元，快速增长；新产品不断推出。

    2022 年前三个季度扣非后归母净利润达4.81 亿元，同比增403.62%。盛美上海主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管设备和先进封装湿法设备等。22Q3 单季度实现收入8.83 亿元，同比增90.87%；归母净利润2.04 亿元，同比增245.91%；扣非后归母净利润2.23 亿元，同比增379.24%。2022 年Q1-Q3 收入合计19.78 亿元，同比增81.86%；归母净利润4.41 亿元，同比增196.42%；扣非后归母净利润4.81 亿元，同比增403.62%，增长十分迅速。

    在手订单饱满，增长明显。根据公司《关于前三季度经营情况暨在手订单情况的自愿性披露公告》，受益于技术优势和产品多元化战略布局，以及市场对公司半导体设备的强劲需求，截止2022 年9 月30 日在手订单总金额为46.44亿元（含已签订合同及已中标尚未签订合同金额），较2021 年同期增长105.32%，订单量快速增长。

    推出SiC 衬底、硅片制造用新型Post-CMP 清洗设备。根据盛美上海微信公众号报道，2022 年7 月14 日，公司推出新型Post-CMP 清洗设备，也是第一款Post-CMP 清洗设备，用于制造高质量衬底化学机械研磨（CMP）工艺之后的清洗。该清洗设备6 英寸和8 英寸的配臵适用于SiC 衬底制造；8 英寸和12 英寸配臵适用于硅片制造。设备有湿进干出（WIDO）和干进干出（DIDO）两种配臵，并可选配2/4/6 个腔体，拥有每小时60 片晶圆的最大产能（WPH）。我们认为，这类设备的推出将充分受益于国内硅片、SiC 衬底制造商的产能扩充而增长明显。

    立式炉产品系列不断完善。根据盛美上海微信公众号报道，2022 年9 月28日公司宣布对300mm Ultra Fn 立式炉干法工艺平台进行功能拓展，研发出新型Ultra Fn A 立式炉设备，该设备的应用丰富了热原子层沉积（ALD）功能，可沉积氮化硅（SiN）和碳氮化硅（SiCN）薄膜。首台Ultra Fn A 立式炉设备已于9 月底运往中国一家先进的逻辑制造商，计划于2023 年底通过验证。

    盈利预测与估值。我们预计公司2022E-2024E 收入分别为27.58 亿元、36.12亿元、47.44 亿元；归母净利润分别为5.96 亿元、7.70 亿元、10.01 亿元。

    采用PE 估值方法，结合可比公司平均PE（2022E）估值为90.15 倍，给予公司PE（2022E）65x~80x，对应合理市值区间为387.30 亿元~476.68 亿元，对应合理价值区间89.33 元/股~109.95 元/股，维持“优于大市”评级。

    风险提示：技术研发不及预期、市场拓展不及预期、下游客户资本开支不及预期、宏观经济下行带来终端需求下滑、中美贸易摩擦加剧等。