基于差异化技术创新和平台化战略，产品用于晶圆前后道制程清洗、电镀、先进封装和薄膜等领域。2021 年营收16.21 亿元，同比增长60.88%，2017 年~2021 年营收CAGR 达58.57%，其中半导体清洗设备、先进封装湿法设备、电镀与立式炉管设备营收分别为10.56/2.18/2.74 亿元，营收占比分别为65.14%/13.44%/16.88%。

    　　首创SAPS、TEBO、Tahoe 技术叠加Semi-Critical 技术，清洗设备性能比肩国际厂商，获下游一线客户认可。公司可提供Ultra 系列清洗设备，涵盖90%以上清洁制程工艺。随着制程进步和器件结构复杂度提升，清洗设备的需求加速提升，叠加公司清洗设备市场领先地位，未来国内、国际市场份额将进一提升。

    　　电镀设备快速增长，打破国外垄断，未来成长空间可期。公司系国内唯一前道、后道及第三代半导体电镀设备厂商，打破当前我国电镀设备市场主要被美日欧企业垄断格局，未来成长空间广阔。

    　　立足炉管设备，拓展薄膜领域，进一步拓宽公司业务规模。产品模块化、工艺同源性助力公司横向拓展工艺应用，在巩固LPCVD 设备市场同时，逐步延伸至氧化炉、扩散炉领域，进一步拓展至百亿美元市场的薄膜沉积领域，相关设备已具备验证条件，打造公司新成长极。

    　　投资建议：预计公司2022~2024 年归母净利润分别为4.37/6.93/8.87亿元，同比+64.3%/+58.5%/+27.9%。考虑到公司技术逐步突破，产品矩阵逐渐丰富且逐步处于放量状态，给予公司2022 年16 倍PS，对应目标价102 元/股，首次覆盖，给予“买入”评级。

    　　风险提示：下游客户验证不及预期风险，竞争加剧风险，部分关键零部件卡脖子风险，母公司被摘牌风险。