事件：

    公司发布2021 年年报，全年实现营收16.21 亿元，同比增长60.88%，实现归母净利润2.66 亿元，同比增长35.31%，扣非后归母净利润1.95 亿元，同比增长110.67%。业绩表现符合我们的预期。

    投资要点：

    2021 年公司营收同比增长60.88%，主要系新产品快速放量。公司继续产品多元化的发展策略，2021 年半导体清洗设备、半导体电镀设备、先进封装湿法设备的营收分别为10.56、2.74、2.18 亿元，同比增长29.34%、352.44%、120.95%。

    高研发投入保证产品领先优势，各系列产品出货顺利。2021 年公司研发费用2.78 亿元，同比增长97.74%，营收占比达到17.18%。公司3 月新发布了高速铜电镀技术，拓展了立式炉半导体设备产品组合以及支持逻辑、存储器和功率器件制造工艺的更多应用；8 月，公司步入湿法边缘刻蚀领域，新产品支持3D NAND、DRAM 和先进逻辑制造工艺，还发布了首台应用于化合物半导体制造中晶圆级封装和电镀应用的电镀设备；9 月，公司用于先进逻辑、DRAM 和3D-NAND 半导体制造的300mm 单片高温SPM 设备已交货；10月，公司湿法设备2000 腔顺利交付。公司产品出货全年超过170 台，公司的清洗技术及设备已经可以覆盖80%以上的清洗工艺，镀铜设备出货量达到20 台，炉管设备出货量达到8 台，各系列产品出货顺利，平台化公司已初具规模。

    存货及合同负债增量显著，公司订单饱满。2021 年底存货14.43 亿，同比增长134.74%，合同负债3.64 亿，同比增长323.52%，预示公司在手订单充足。除了已有的长江存储、华虹集团、中芯国际、长鑫存储、长电科技、通富微电、中芯长电、Nepes、金瑞泓、台湾合晶科技、中科院微电子所、上海集成电路研发中心、华进半导体、士兰微、芯恩半导体、晶合、中科智芯、芯德等主要客户的重复订单之外，2021 年公司新增了五家大陆地区以外的知名客户。

    维持22-23 年盈利预测，新增24 年盈利预测，维持“增持”评级。预计22-24 年归母净利润分别为4.21/6.29/8.50 亿元，对应每股收益分别为0.97/1.45/1.96 元/股。当前股价对应22-24 年PE 分别为98X、66X、49X，考虑到公司是国内半导体清洗设备龙头，同时平台化初具规模，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业周期风险；核心技术被赶超或替代的风险；市场竞争加剧的风险；新领域拓展不及预期的风险等。