Q3 营收持续高增，低毛利首台套设备影响盈利能力：2024 年前三季度公司营业收入22.78 亿元，同比+33.8%；归母净利润2.71 亿元，同比+0.1%；扣非净利润0.65亿元，同比-62.7%。公司营收受益于公司持续的高强度研发投入，公司PECVD、ALD、 SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充 CVD 等系列产品量产规模不断扩大，但由于公司多款基于新型设备平台（PF-300M 和 PF-300T Plus）及新型反应腔（Supra-D）开发的工艺设备收入占比大幅提升，新产品及新工艺在客户端验证成本相对较高，导致盈利能力同比下滑。公司Q3 营业收入10.11 亿元，同比+44.7%，环比+27.1%；归母净利润1.42 亿元，同比-2.9%，环比+19.9%；扣非归母净利润0.46亿元，同比-58.8%，环比-29.1%，主要系公司持有珂玛科技股票，形成公允价值变动收益0.72 亿元。

    　　新产品导致盈利能力略有下降，研发投入持续增加：2024 年前三季度公司毛利率为43.59%，同比-6.8pct，主要系首台套验证成本相对较高；销售净利率为11.41%，同比-4.42pct；期间费用率为40.13%，同比+1.77pct，其中销售费用率为11.75%，同比+1.03pct，管理费用率为5.42%，同比-2.22pct，研发费用率21.10%，同比+0.30pct，财务费用率为1.87%，同比+2.66pct。公司2024 年1-9 月研发投入4.81 亿元，同比+35.7%；用于拓展新产品及新工艺，并持续进行设备平台及反应腔的优化升级，包括新型设备平台（PF-300T Plus 和 PF-300M）和新型反应腔（pX 和 Supra-D）等。

    　　Q3 单季度毛利率为39.27%，同比-12.4pct，环比-7.62pct；销售净利率13.61%，同比-7.00pct，环比-0.80pct。

    　　存货&合同负债持续高增，负现金流同比收窄：截至 2024Q3 末，公司合同负债为25.12 亿元，同比+67.8%；存货为70.77 亿元，同比+66.8%，在手订单充沛。2024Q1-Q3 经营活动净现金流为-9.99 亿元，同比收窄。

    　　PECVD 领域持续扩张，平台化延展打开成长空间：（1）PECVD：已实现全系列PECVD 介质薄膜材料的覆盖，通用介质薄膜材料和先进介质薄膜材料均已实现产业化应用；公司自主研发并推出了 PECVD Bianca 工艺设备，超过25 个相关工艺设备反应腔获得订单，且部分已出货；UV Cure 已实现产业化应用，订单量持续攀升（2）ALD：首台PE-ALD SiN 工艺设通过客户验证，实现了产业化应用；公司Thermal-ALD 设备持续获得订单并实现交付；（3）SACVD：公司推出的等离子体增强SAF 薄膜工艺应用设备在客户端验证进展顺利，基于PF-300T Plus 开发的SAF薄膜工艺应用设备获得客户订单交付；（4）HDPCVD：公司 HDPCVD USG、FSG、STI 薄膜工艺设备均已实现产业化，HDPCVD 反应腔累计出货量达到 70 个；（5）超高深宽比沟槽填充CVD：首台设备通过客户验证，并实现了产业化应用，相关反应腔累计出货超过 15 个；（6）混合键合：公司晶圆对晶圆键合产品 Dione 300 及芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品 Propus 均实现产业化；公司自主研发了键合套准精度量测产品，其中Crux 300 已获得客户订单。

    　　盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们预计公司2024-2026 年归母净利润为7.0（原值8.3）/10.6（原值11.8）/13.5（原值14.1）亿元，对应PE 为49/32/25倍，维持“买入”评级。

    　　风险提示：晶圆厂资本开支下滑、国产化率提升不及预期等。