投资要点

    2023 年业绩高增， 2024Q1 受费用前置影响有所下滑：2023 年公司实现营业收入27.05 亿元，同比+58.6%，其中薄膜沉积设备营业收入25.7 亿元，同比+52.51%，混合键合设备营业收入0.64 亿元；归母净利润6.63 亿元，同比+79.8%；扣非归母净利润3.12 亿元，同比+75.29%。

    2023 年Q4 营业收入10.02 亿元，同比+40.39%，环比+43.35%；归母净利润3.92 亿元，同比+198.69%，环比168.49%。2024Q1 公司实现营业收入4.72 亿元，同比+17.25%；归母净利润0.1 亿元，同比-80.51%；扣非归母净利润-0.44 亿元，同比-325.07%，主要系一方面Q1 验收机台为新产品，验收周期长于成熟产品，另一方面研发投入等费用持续增加，使得Q1 业绩有所下滑。

    盈利能力稳定提升：2023 年公司毛利率为51.01%，同比+1.74pct，其中薄膜沉积设备毛利率为50.76%，同比+1.55pct，混合键合设备毛利率为50.84%；销售净利率为24.54%，同比+3.19pct；期间费用率为38.24%，同比+1.08pct，其中销售费用率为10.41%，同比-0.87pct，管理费用率（含研发）为28.27%，同比+1.32pct，财务费用率为-0.44%，同比+0.63pct。2024Q1 公司毛利率为47.31%，同比-2.47pct；销售净利率为1.65%，同比-11.34pct；期间费用率为54.51%，同比+14.25pct，其中销售费用率为14.09%，同比+0.42pct，管理费用率（含研发）为38.64%，同比+9.0pct，财务费用率为1.78%，同比+4.83pct。

    存货高增，合同负债稍有下降：截至2024 年Q1 末公司合同负债为13.86 亿元，同比-15.1%，存货为56.13 亿元，同比+106.59%。2023 年年末公司在手销售订单金额超过64 亿元（不含Dem 订单），较2022 年末在手销售订单金额 46.02 亿元（不含 Demo 订单）同比增长约39%。

    股权激励范围广，利于公司中长期发展：公司发布2023 年限制性股票激励计划草案，拟授予不超过375 万股限制性股票，激励对象总人数不超过701 人，约占公司职工人数的76%，本激励计划首次授予部分考核年度为2024-2026 年，2024-2026 年营业收入目标为33.3/44.4/52.9亿元，2024-2026 年剔除股权激励费用影响后的净利润为7.6/9.6/11.5 亿元。

    PECVD 具备持续扩张潜力，平台化延展打开成长空间：（1）PECVD：已实现全系列PECVD薄膜材料的覆盖，2023 年收入23.2 亿元， 同比+48%；（2）ALD：ALD 系列产品收入大幅度增加，其中Thermal-ALD 设备通过客户端验证， 实现首台的产业化应用， 取得了突破性进展；（3）SACVD：可实现SA TEOS、BPSG、SAF 薄膜工艺沉积的SACVD 设备均通过客户验证，量产规模逐步提升；（4）HDPCVD：通过客户端验证， 实现首台的产业化应用，并获得批量重复订单；（5）键合设备：首台晶圆对晶圆键合产品顺利通过客户端验证， 复购设备再次通过验证，芯片对晶圆混合键合前表面预处理产品通过客户端验证，实现了产业化应用。

    盈利预测与投资评级：考虑到设备交付节奏，我们上调2024-2025 年的归母净利润预测分别为8.3/11.8 亿元，前值为8.1/11.7 亿元，预计2026 年归母净利润为14.1 亿元，当前市值对应动态PE 分别为44/31/26 倍，考虑到公司较强的成长性，维持“买入”评级。

    风险提示：晶圆厂资本开支下滑、国产化率提升不及预期等。