核心观点

    2022 年公司各系列产品验证顺利，客户数量持续增加，公司份额不断提升，营收、利润均实现高增，产品结构优化与规模效应体现，盈利能力大幅提升，全年新接订单43.62 亿元（不含demo），同比+95.36%，为后续业绩提供保障。进入2023Q1，公司营收加速增长，合同负债继续提升，展望全年，随着公司核心产品竞争力不断增强、新产品的持续突破，在客户端份额将持续提升，全年业绩表现值得期待。

    事件

    2022 年公司实现营业收入17.06 亿元，同比增长125.02%，归母净利润3.69 亿元，同比增长438.09%，扣非归母净利润1.78 亿元，扭亏为盈。其中，Q4 单季度实现营收7.14 亿元，同比增长85.92%，归母净利润1.31 亿元，同比增长1145.16%，扣非归母净利润0.66亿元，扭亏为盈。

    2023Q1 公司实现营业收入4.02 亿元，同比增长274.24%；归母净利润0.54 亿元，扣非归母净利润0.20 亿元，均实现扭亏为盈。

    简评

    2022 年：业绩表现靓丽，新接订单大幅增长

    营收高速增长，各产品线齐头并进。2022 年公司各系列产品验证顺利，客户数量持续增加，市场份额不断提升，营收达17.06 亿元，大幅增长125.02%。分产品来看：

    （1）PECVD 设备：营收15.63 亿元，同比+131.44%，是公司主要收入来源，产销量大幅增长，新客户、新领域持续导入。

    （2）SACVD 设备：营收0.89 亿元，同比+117.39%，SA TEOS、BPSG、SAF 薄膜工艺设备在芯片制造领域均取得客户验收，公司该产品应用领域不断拓展。

    （3）ALD 设备：营收0.33 亿元，同比+13.85%，PE-ALD 设备已实现产业化应用，Thermal-ALD 设备完成开发，已发货至客户端验证。

    产品结构优化+规模效应体现，盈利能力大幅改善。2022 年公司归母净利润为3.69 亿元，同比+438.09%，扣非归母净利润达1.78 亿元，实现扭亏为盈。从盈利能力角度来看，公司毛、净利率分别为49.27%、21.35%，同比分别+5.26pct、+12.52pct，其中PECVD、SACVD、ALD 设备毛利率分别为49.41%、46.82%、46.04%，同比分别+6.78pct、-16.17pct、+1.85pct，PECVD 设备毛利率大幅提升主要系规模效应与产品结构优化（高端产品占比提升），SACVD 设备由于现有出货量较少，毛利率还不具备参考价值，因此当下波动较大。总结来说，公司盈利能力总体提升，主要系：1）产品结构优化、规模效应显现，营收占比大的PECVD 设备毛利率大幅提升，带动综合毛利率提升；2）收入规模大幅增长，期间费用率同比-17.00pct，其中研发费用率同比-15.83pct。

    新签订单大幅增长，为后续业绩提供保障。公司持续拓展核心产品的应用领域，不断获得逻辑、存储领域重复订单以及新客户订单，2022 年公司新签订单43.62 亿元（不含demo 订单），同比+95.36%，在手订单为46.02亿元（不含demo 订单）。

    2023Q1：营收加速增长，合同负债持续提升

    2023Q1 公司营收4.02 亿元，同比增长274.24%；归母净利润扭亏为盈到0.54 亿元，从盈利能力来看，公司毛、净利率分别49.78%、12.99%，同比分别+2.34pct、+24.69pct。公司业绩加速增长，主要系公司设备在客户端顺利验证，加速交付，产品结构优化、规模效应等作用进一步体现，期间费用率同比-25.28pct，其中研发费用率同比-22.21pct，推动净利率由负转正。截至2023Q1，公司合同负债达16.33 亿元，相比2022 年底增长16.89%，在手订单充足，预计公司2023 年营收仍将维持高速增长。

    薄膜沉积设备竞争力不断增强，拓展键合设备打开成长空间薄膜沉积设备各系列产品竞争力持续增强。（1）PECVD 设备：为公司核心产品，工艺覆盖率不断提升，在多种不同工艺指标的先进薄膜材料（包括 LoKⅠ、ACHM、ADCⅠ、HTN 等）和设备均通过客户验证。新产品层面，公司在PF-300T 的基础上推出NF-300H，具有更高产能和更好的工艺性能指标，实现首台产业化验证并取得重复订单。新领域层面，公司在先进封装领域开发新产品，采用独特的加热盘、传片平台等设计，开发低温薄膜沉积设备，实现量产应用。（2）SACVD 设备：公司产品可实现 SA TEOS、BPSG、SAF 薄膜工艺沉积，均通过客户验证，实现产业化应用。（3）ALD 设备：PE-ALD 方面，PF-300T Astra 产品在客户端成功完成产业化验证，NF-300H Astra 在客户端验证进展顺利。Thermal-ALD 方面，PF-300T Altair、TS-300 Altair 已出货至不同客户端进行验证。（4）HDPCVD 设备：公司PF-300T Hesper 已出货至客户端，截至年报签署日已通过验证实现销售。

    公司开发混合键合产品，打开未来成长空间。随着芯片制程持续缩小并接近物理极限，需要通过新的设计架构与堆叠方式实现性能提升，公司抓住新技术趋势，研制出应用于晶圆级三维集成领域的混合键合设备产品系列，截至年报签署日，晶圆对晶圆键合产品 Dione 300、芯片对晶圆键合表面预处理产品Pollux，已均出货至客户端进行验证。

    投资建议

    预计公司2023-2025 年归母净利润分别为5.76、8.21、11.23 亿元，同比分别增长56.42%、42.51%、36.71%，对应2023-2025 年PE 估值分别为89.74x、62.97x、46.06x，维持“买入”评级。