核心观点：

    　　业绩大幅增长，在手订单饱满。公司发布2022 年年报，2022 年营收17.06 亿元，YoY+125.02%；归母净利润3.69 亿元，YoY+438.09%；毛利率49.27%，YoY+5.26pct，净利率21.35%，YoY+12.52pct。22Q4公司营收7.14 亿元，YoY+85.92%，QoQ+52.47%；归母净利润1.31亿元，YoY+1145.16%，QoQ+1.28%。市场需求增加以及客户对公司产品认可度继续提升，公司新增订单及在手订单金额不断增加，为公司业绩的快速增长提供了有力保障。截至2022 年，公司在手订单为46.02 亿元（不含Demo 订单），公司2022 年签订销售订单金额为43.62 亿元（不含Demo 订单），YoY+95.36%。

    　　PECVD 份额稳步提升，多元化新品打开成长空间。公司PECVD 产品工艺覆盖率及市场占有率持续提升，广泛应用于国内IC 制造产线；PE-ALD 设备已实现产业化应用，Thermal-ALD 设备已发货至客户端验证；SACVD 设备方面，SA TEOS、BPSG、SAF 薄膜工艺设备均取得客户验收。此外，公司新品HDPCVD 产品实现销售；混合键合设备已出货至客户端验证，取得了突破性进展。在保持PECVD 竞争优势的基础上，多元化的新品未来有望为公司进一步打开成长空间。

    　　国内薄膜沉积设备龙头，持续受益国产替代。公司是目前国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD 设备、SACVD 设备、HDPCVD 厂商，薄膜系列产品性能指标已达到国际同类设备先进水平。作为集成电路前道工艺三大核心设备之一，薄膜沉积设备国产替代空间广阔。

    　　公司有望凭借现有优势，不断提升市场份额，持续受益国产替代。

    　　盈利预测与投资建议。预计公司23-25 年收入为30.89/41.39/53.88 亿元，参考可比公司估值，给予公司2023 年22 倍的PS 估值，对应合理价值为537.36 元/股，维持“买入”评级。

    　　风险提示。晶圆厂扩产不及预期；供应链安全；竞争加剧。