22 年营收同比增长125%，符合市场预期。22 年营收17.06 亿元，同比增长125%，归母净利润3.69 亿元，同比增长438%；毛利率49.27%，同比提升5.26pct，净利率21.35%，同比提升12.52pct，营收同比增长系PECVD设备销量上升，净利率同比提升主要归因于营收增长推动期间费用率同比下降17.00pct，其中研发费用率同比下降15.83pct。

    　　22Q4 单季度营收7.14 亿元，环比增长52%，归母净利润1.31 亿元，环比增长1%；毛利率50.58%，环比提升0.51pct，净利率18.12%。

    　　拳头产品PECVD产销两旺，22年销量同比增长96%，ASP同比提升18%。

    　　公司第一大业务为PECVD 设备，22 年PECVD 设备营收15.63 亿元，同比增长131%，毛利率49.41%，同比提升6.78pct。22 年PECVD 设备销量98 台，同比增长96%，ASP 1595 万元，同比提升18%，显现PF-300T 量价齐升。

    　　第二大业务为SACVD 及ALD 设备，22 年SACVD 设备营收0.89 亿元，同比增长117%，毛利率46.82%，同比下降16.17pct，ALD 设备营收0.33 亿元，同比增长14%， 毛利率46.04%， 同比提升1.85pct 。报告期内公司PE-ALD（PF-300T Astra）完成产业化验证，PE-ALD（NF-300H Astra）在客户端验证进展顺利，Thermal-ALD 已出货至多个客户端进行验证。公司持续拓展PE-ALD 薄膜种类及工艺应用，并获得多个客户的订单。

    　　在手订单46.02 亿元，奠定后续业绩成长。公司薄膜沉积设备已获得逻辑/存储芯片等领域现有客户重复订单及新客户订单。截至22 年末，公司在手销售订单金额46.02 亿元（不含Demo 订单），2022 年签订销售订单金额43.62亿元（不含Demo 订单），新增订单同比增长95%。截至2022 年末，公司PECVD设备库存量141 台，ALD 6 台，SAVCD 13 台，HDPCVD 1 台，库存数量中80%以上为已取得正式销售订单的发出产品，为后续业绩增长提供有力保障。

    　　国内薄膜沉积设备领军企业，维持“增持”评级。SEMI 预计23 年中国半导体设备市场规模将同比增长10%至3032 亿元。公司作为设备国产替代进程中的主力供应商，有望延续成长，预计2023~2025 年归母净利润分别为5.06/6.56/8.12 亿元，对应23/24/25 年PE 为108/83/67 倍，维持“增持”评级。

    　　风险提示：晶圆厂扩产不及预期；供应链安全风险；市场竞争风险；核心竞争力风险等。