本报告导读：

    　　公司PECVD 设备优势明显，同时积极推进SACVD 设备和ALD 设备，订单高速增长，业绩有望持续高增。

    　　投资要点：

    　　维持“增持” 评级，维持目标价393.4 元。公司PECVD 加速增长，SACVD 和ALD 设备稳步推进，22 年业绩预告略超预期，上调其2022-2024 年EPS 为2.74/4.23/5.85 元（原预测2022-2024 年为2.23/3.49/4.76 元）。考虑PECVD 机台优势明显，国内产线渗透加速推进，给予其2023 年19 倍PS，目标价393.4 元。

    　　业绩预告略超预期，在手订单充足。预计22 年实现营收16.5~17.2亿元，同比增长117.7%~126.9%；归母净利润3.3~4.0 亿元，同比增长381.9%~484.1%；扣非后归母净利润1.6~1.9 亿元，扭亏为盈，同比约增加2.4~2.7 亿元。主要受益于设备需求的持续增加以及加大研发投入的情况下，期间费用率的下降，规模效应驱动盈利水平持续提高。

    　　PECVD是业绩增长的主要驱动力，渗透率和单机价值量均有望持续提升。PECVD 市场空间在薄膜沉积设备中占比最大，超50 亿美元。

    　　公司PECVD 业务占比超过90%，覆盖所有薄膜材料，性能上业界口碑良好，出货量上国内遥遥领先，新增产线渗透率将持续提升。多边形高产能机台+UV Cure 配置，将进一步拔高单机价值量。

    　　SACVD、HDPCVD 补齐Gap-fill 业务，ALD 引领先进工艺业务成长。Gap-fill 业务：SACVD 适用于40/28nm，机台订单数有望上双位数，HDPCVD 适用于130-55nm，已取得客户订单。ALD 业务：国内整体仍处于0-1，公司已取得个位数出货，处于领先态势。

    　　风险提示。下游晶圆产能扩充不及预期；新品产业化不及预期。