事件：公司发布2022年三季报。

    　　PECVD 快速放量，Q3 收入端实现快速增长

    　　2022Q1-Q3 公司实现营业收入9.92 亿元，同比+165.19%；其中Q3 营业收入为4.68 亿元，同比+79.19%，环比+12.66%，位于业绩预告偏上限，符合市场预期，收入同环比持续提升主要系国内半导体行业设备需求不断增加，同时公司订单充足，设备加速交付。分业务看，PEVCD 仍是营收的主要构成部分，2022Q1-Q3 实现收入8.88 亿元，同比增长175.17%，略高于整体营收增速，占营收比重89.52%，而ALD&SACVD 加速验证，逐步进入放量阶段，报告期内也贡献了一定的收入体量。截至2022Q3 末，公司合同负债和存货分别达到9.22 和20.90 亿元，分别较2021Q3 末增长107.19%和113.63%。考虑到合同负债基本为预收款项，我们判断公司在手订单实现大幅提升，在手订单充足。进一步拆分存货构成，以2022H1 数据为例，发出商品9.31 亿元，占存货比重59.56%，大部分为未确认商品，随着后续订单加速确认收入，2023 年全年业绩有望延续高速增长。

    　　Q3 毛利率创历史新高，高研发投入影响扣非净利率水平2022Q1-Q3 公司实现归母净利润2.37 亿元，同比+309.73%；实现扣非后归母净利润1.12 亿元，同比扭亏为盈，利润端符合预期。分季度看，2022Q3 实现归母净利润1.29 亿元，同比+65.87%，实现扣非后归母净利润0.63 亿元，同比+40.40%，Q3 销售净利率和扣非后归母净利率分别为27.36%、13.37%，分别同比-2.32、-3.69pct，盈利水平略有下降。1）毛利端：2022Q3 公司销售毛利率为50.07%，创单季度毛利率新高，同比+1.08pct。我们推测背后的原因：产品技术不断成熟，公司议价能力有所提升，平均单价同比有一定上涨；公司的产品开始进入先进制程设备市场，先进制程设备的市场价格较高，进而提高了毛利率；规模效应显现，平均成本也有所降低。2）费用端：2022Q3 公司期间费用率为37.39%，同比+7.27pct，期间费用率的提升影响了单季度盈利水平表现，其中销售、管理、研发、财务费用率分别同比+0.76、+0.97、+3.36、+2.18pct，研发费用率提升明显主要系研发投入加大，Q3 研发费用达到1.03 亿元，财务费用率提升主要系2021 年同期存在一定的利息收入。

    　　美国制裁加速设备国产化，薄膜沉积设备产品线不断丰富打开成长空间美国对中国半导体产业制裁升级，对128 层及以上NAND 芯片、18nm及以下DRAM 相关设备进一步管控。公司存储客户占比小于逻辑客户，且短期存储扩产影响较小。中长期来看，随着美国对中国半导体产业持续打压，会加速半导体产业自主可控，尤其加速设备环节的进口替代。作为薄膜沉积设备国产领军者，公司在稳固PECVD 市场竞争力的同时，SACVD&ALD 也持续取得产业化突破，成长空间不断打开。1）PECVD：　　公司核心产品，在国内市占率依然较低，2021 年不到6%。公司PECVD 已全面覆盖逻辑、DRAM 存储、FLASH 闪存各技术节点通用介质薄膜，并在14nm 及10nm 以下制程积极配合客户产业验证，随着客户验证顺利推进，有望延续高速增长；2）SACVD：适用于45-10nm 沟槽填充，先进制程下渗透率存在提升趋势，公司产品体系不断完善，2020 年以来客户验证机台快速增加，有望进入放量阶段；3）ALD：膜厚精准可控&台阶覆盖率极高，技术优势突出，公司率先实现PE-ALD 产业化，同时布局Thermal-ALD，IPO 募投项目将助力大规模产业化进程。

    　　盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单饱满、设备加速交付，我们上调2022-2024 年公司营业收入预测分别为15.21、22.33 和30.87 亿元（原值12.64、18.61 和25.78 亿元），当前市值对应动态PS 分别为22、15 和11 倍。公司成长性较为突出，维持“买入”评级。

    　　风险提示：晶圆厂资本开支不及预期、Demo 机台无法实现最终销售等。