公司收入高增，盈利能力持续提升，实现大幅扭亏2022H1公司实现营业收入5.23亿元，同比+364.9%；归母净利润1.08亿元，同比扭亏；公司自身盈利能力明显提升，扣非归母净利润0.49亿元，同比、环比双双扭亏。毛利率较去年同期提升8.4pct至46.8%，收入规模提升，带动期间费用率同比大幅降低至14.3%，公司净利率达20.4%。分季度看，Q2业绩大超市场预期，单季度实现营业收入4.16亿元，同比+658.4%环比+286.6%，归母净利润1.20亿元，驱动了上半年业绩。

    PECVD势头正盛，ALD/SACVD并行发展

    公司深耕薄膜沉积设备领域，市占率不断提升，获得逻辑/存储客户的重复订单及新客户订单。截至22H1未，公司设备在客户端累计流片量达7100余万片，较上年未增长54.3%。2022上半年，公司PECVD设备营收4.67亿元，同比+345.2%；ALD反应腔、SACVD产品分别取得收入0.08、0.41亿元。PECVD方面，P℉-300T(双站式)保持竞争力，订单稳定增长，NF30OH(六站式)在DRAM领域实现首台产业化应用；ALD方面，PE-ALD进展顺利，可以沉积二氧化硅介质材料薄膜。SACVD在12英寸40/28nm以及8英寸90m以上的逻辑芯片领域实现应用，并取得了新客户订单。

    持续投入研发，新产品实现突破

    2022H1公司共投入研发1.18亿元，同比+45.7%，在研项目诸多已在产业化验证阶段，追赶国际同类设备水平。公司在CVD细分领域继续丰富设备种类，拓宽工艺覆盖面。开发了TS-300(多边形高产能平台)，Thermal-ALD.、HDPCVD系列产品、UV Cure设备等新产品。Thermal-ALD拓展了金属化合物薄膜材料的沉积能力，HDPCVD实现了对深宽比小于5：1的沟槽填充，并有两款设备取得了客户订单。

    所处赛道市场空间广阔，公司合同负债翻倍

    薄膜沉积设备是IC前道工艺中的三大主设备之一，2021年全球薄膜沉积设备市场规模210亿美元，其中PECVD设备占据薄膜沉积最大的市场份 额，公司作为国内唯一实现PECVD产业化应用的厂商，市场空间广阔。我们测算2021年公司产品覆盖的国内市场空间超过27亿美元。2022上半年公司在手订单饱满，合同负债共10.87亿元，同比+122.9%，存货15.63亿元，同比+64.0%。

    投资建议

    公司是国内唯一一家能产业化应用集成电路PECVD设备和SACVD设备的厂商，与国内其他布局薄膜沉积的公司错位竞争，技术领先且市场空间广阔。我们看好公司收入规模的放量，预计2022-2024年公司营业收入分别为14.06/20.27/27.23亿元，同比增长85.5%/44.2%/34.3%；归母净利润分别为2.32/3.56/5.07亿元，同比增长239.4%/53.0%/42.6%，对应8月31日的收盘价分别为141、92、65倍，首次覆盖，给予“买入”评级。

    风险提示

    下游晶圆厂扩产不及预期、公司产品研发客户验证进度不及预期、行业竞争加剧。