公司是国内半导体薄膜沉积设备龙头,饱满订单驱动业绩与盈利能力双增。公司成立于2010 年,主要从事高端半导体专用设备PECVD、ALD 和SACVD的研发与销售。自2011 年10 月首台12 英寸PEVCD 出厂到中芯国际验证,公司陆续推出PF-300T、PF-200T、HTM、ACHM 等型号丰富的PECVD 设备系列生产线,并加速ALD 和SACVD 设备研发进程,持续提升竞争力。不断拓展新客户,至今已进入中芯国际、华虹集团、长江存储、厦门联芯、燕东微电子等国内领先集成电路制造企业产线,打破国际龙头对国内市场垄断。产品广泛应用于上述晶圆厂14nm 及以上制程集成电路制造产线,并已展开10nm及以下制程产品验证测试,截止2022 年2 月,客户端累计流片量超过5000万片,引领半导体薄膜沉积设备国产化浪潮。

    行业高景气与国产替代趋势共振,国内半导体设备厂商奋起直追。5G、新能源汽车、AIOT 领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期,晶圆厂积极扩产,投资热情持续高涨,带动半导体设备市场不断增长。据IC Insights 数据,全球半导体行业资本开支在2021 年同比大涨36%至1536 亿美元,创历史新高,2022 年有望继续增长24%至1904 亿美元。同时近年来地缘政治格局紧张、新冠疫情不确定性等加剧半导体供应短缺,国内供应链自主可控需求急切,以北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海等为代表的优质国产半导体设备厂商抓住历史机遇,积极配合下游晶圆厂验证导入,在细分领域实现突破,取得阶段性进展。随着下游晶圆厂新一轮扩产,国内设备厂商有望在成熟制程产线提高覆盖率,并在先进制程中崭露头角,于国产替代进程中不断提升话语权。

    PECVD 设备放量增长,ALD 和SACVD 业务蓄势待发。根据行业资本开支数据进行测算,公司所处的PECVD+ALD+SACVD 细分赛道,在中国市场已突破100 亿元规模,空间广阔。公司PECVD 设备已基本覆盖28nm 及以上前道工艺各制程节点,14nm 验证正在积极推进中,下游领域涉及逻辑、存储、先进封装,是唯一实现半导体PECVD 设备产业化的国产厂商,2021 年该业务实现销售额6.75 亿元,同比增长61.49%,在手订单饱满,业务持续高增。公司ALD 设备处于国内领先地位,2021 年完成小批量出货,14nm 制程验证顺利,ALD 具有深沟槽、台阶覆盖率更高的薄膜沉积技术优势,未来将是公司推进先进制程战略重要的发展方向。SACVD 设备方面,公司亦是唯一一家实现产业化应用的国产厂商,2021 年完成第二台设备的销售,SACVD 有望成为公司新兴业务重要一极。

    盈利预测、估值及投资评级。全球半导体设备市场持续高景气,公司显著受益于薄膜沉积设备需求增长;充分受益于国产替代机遇,截至2021 年9 月,公司在手订单超过15 亿元(对应合同负债4.45 亿元),2022 年一季度末合同负债7.8 亿元(YoY+258%,QoQ+60%),采购及订单规模迅速扩大。我们预测2022-2024 年公司营业收入分别为15.0/21.9/30.3 亿元,结合公司所处百亿赛道市场空间、行业平均估值水平,以及更纯正的半导体业务结构,给予2022 年15 倍PS,对应目标价为178.1 元,首次覆盖给予“强推”评级。

    风险提示:中美贸易摩擦加剧;上游零部件供应短缺;下游客户扩产不及预期。