专注薄膜沉积设备,技术实力出众:公司为国内薄膜沉积设备龙头,产品包括PECVD、SACVD 和ALD 设备等,2021 年收入分别为6.75亿元、0.41 亿元、0.29 亿元,其中PECVD 占收入比例89%。根据公司招股书,公司是国内唯一一家产业化应用的集成电路PECVD、SACVD 设备厂商,下游客户涵盖中芯国际、华虹集团、长江存储、厦门联芯、燕东微电子等行业领先晶圆厂,并已适配国内最先进的28/14nm逻辑芯片、19/17nm DRAM芯片和64/128 层3D NANDFLASH 晶圆制造产线,产品技术参数达到国际同类设备水平。根据公开招标信息披露,2019-2020 年公司PECVD 设备中标机台数量占长江存储、上海华力、无锡华虹和上海积塔四家招标总量的16.65%。

    营收高速成长,盈利能力持续提高:公司营收从2018 年的0.71 亿元成长到2021 年的7.58 亿元,3 年内增幅接近10 倍。从盈利能力来看,公司毛利率以及净利率连续多年呈现持续提高趋势,从2018 年的31.67%提高至2021 年的44.01%,净利率从2018 年的-146.12%提高至2021 年8.83%。2022Q1,公司实现营收1.08 亿元,同比+86.21%,毛利率进一步提高至47.44%。

    薄膜沉积设备为晶圆制造核心设备,持续受益资本开支上行:薄膜沉积设备是晶圆制造的三大主设备之一,根据SEMI 数据,2020 年其投资规模占晶圆制造设备总投资的25%,市场需求与晶圆厂资本开支密切相关。在全球半导体资本开支持续高增长的带动下,薄膜沉积设备市场规模有望持续扩大,根据Maximize Market Research 数据统计,全球半导体薄膜沉积市场2017 年市场空间约为125 亿美元,预计到2025 年将达到340 亿美元,期间以年复合13.3%的速度增长。从薄膜沉积设备市场结构来看,根据公司招股书数据,2019 年CVD 设备占据着77%的薄膜沉积设备市场,其中PECVD 占整体市场的33%,领先于其他类型设备,ALD 设备占比为11%。另外,PVD 设备在薄膜沉积设备中占比为25%。

    半导体设备国产率提升空间大,国内企业有望持续受益:从国内市场来看,根据SEMI 数据,2020 年薄膜沉积设备全球市场规模172 亿美元,国内半导体设备市场占全球市场比例为26.29%,如果这个比例测算,2020 年国内薄膜沉积设备市场规模约为45.22 亿美元。总体来看,国内大陆半导体设备国产化率处于较低阶段,根据中国电子专用设备工业协会数据统计,2020 年国产半导体设备销售额约为213 亿元,自给率约为17.5%。随着中国大陆晶圆厂资本开支持续高速成长,叠加国产化率提高,有望带动国内半导体设备企业快速成长。

    海外巨头垄断薄膜沉积设备,国内企业快速追赶:从竞争格局来看,薄膜沉积设备行业基本被海外厂商如应用材料(AMAT)、ASMI、泛林半导体(Lam)、东京电子(TEL)、ASMI 等国际巨头垄断。据Gartner统计,2019 年,应用材料占了全球PVD 市场的85%的份额,处于绝对龙头地位;在CVD 市场中,应用材料、泛林半导体、TEL 在全球市场中占比分别为30%,21%、 19%,三大厂商占据了全球70%的市场份额。在ALD 设备上, TEL 和ASMI 分别占据了31%和29%的市场份额,剩下40%的份额由其他厂商占据。目前国内从事薄膜沉积设备的公司主要包括北方华创、拓荆科技、中微公司、盛美上海等,其中北方华创已经布局LPCVD、ALD、PECVD,PVD 设备领域实力突出,拓荆科技布局PECVD、ALD 以及SACVD,实力国内领先。与海外龙头相比,国内企业份额较小,目前处于快速追赶状态,在国内晶圆厂的份额快速提高,未来有望持续受益半导体设备国产化趋势。

    投资建议:我们预计公司2022 年~2024 年收入分别为11.46 亿元、15.68亿元、19.20 亿元,归母净利润分别为1.04 亿元、1.97 亿元、2.68 亿元,给予“买入-A”投资评级。

    风险提示:下游需求衰减风险,市场竞争加剧风险,国产替代不及预期。