投资要点：

    　　公告：2024Q1 营业收入2.44 亿元，同比-15.27%，归母净利润为1601.1 万元，同比-75.73%。2023 年营业收入17.17 亿元，同比+23.98%，归母净利润为2.51 亿元，同比+25.21%，基本EPS 为1.82 元，平均ROE 为11.17%。2023 年芯源微新签订单同比基本持平，年末在手订单约为22 亿元（含税）。2023 年报及24Q1 业绩符合预期。

    　　2023 年毛利率回升， 扣非净利率10.9%创新高： 2023 年及2024Q1 毛利率42.5%/40.3%，较新品拓展期的2021-2022 年38.1%/38.4%毛利率显著回升。2023 年，芯源微扣非净利率首次突破10%。

    　　前道涂胶显影设备客户端验证进展良好，新签订单以前道产品为主。前道涂胶显影设备全面覆盖I-line、KrF、ArF dry、ArF 浸没式等多种型号，也适用包括SOC、SOH、SOD 等在内的其他旋涂类应用。2022 年，芯源微新签订单快速增长，集成电路前道加工产品收入实现快速放量，同时保持小尺寸（如LED、化合物半导体等）及后道先进封装领域产品收入稳步增长；2023 年市场需求放缓，芯源微前道涂胶显影设备新签订单依然保持了良好的增长速度。

    　　据Global Market Monitor，全球前道涂胶显影设备销售额由2013 年的14.07 亿美元增长到2020 年19.05 亿美元，2022 年超过25 亿美元；涂胶显影设备领域，日本TEL一家独大，全球市场份额接近87%，日本对6 大类半导体设备出口管制的政策已于23 年7 月23 日实施，其中包括先进制程领域涂胶显影相关设备。芯源微作为国内领先的涂胶显影设备生产企业，有望打破垄断格局。

    　　半导体清洗设备：从物理清洗拓展至化学清洗。全球半导体清洗设备市场将呈逐年增长的趋势，根据 SEMI 数据，中国大区2023 年市场需求8.26 亿美元，占全球比重约27%。

    　　芯源微物理清洗机继续保持行业龙头地位，化学清洗机新品2024 年初发布，在重点客户实现有序突破，有望成为公司新的业绩增长点。

    　　下调盈利预测，维持“买入”评级。由于2023 年后道设备签单下降，将2024-2025 年归母净利润预测下调至2.88/3.73 亿元（原值3.88/6.13 亿），新增2026 年归母净利润预测4.40 亿元。2024PE 为45X，可比公司（中科飞测、富创精密、华峰测控、京仪装备）平均PE 56X，上升空间23%，维持“买入”评级。

    　　风险提示：晶圆厂扩产节奏低于预期；新设备验证不达预期等；原材料采购周期延长风险。