事件：公司发布2023年三季报。

    收入端延续稳健增长，看好前道设备加速放量2023Q1-Q3 公司实现营收12.06 亿元，同比+35%，延续稳健增长，其中Q3 为5.11 亿元，同比+30%，同比增速较Q2 略有提升。截至2023Q3末，公司存货和合同负债分别为16.80 和3.59 亿元，分别同比+31%和-41%，分别较2023H1 末+7%和-23%，合同负债同环比均出现一定下滑。我们判断主要系2023 年封测行业景气度较差，公司后道Track 订单表现相对疲软，但是前道Track 和物理清洗设备订单表现依旧亮眼。展望未来，在半导体行业景气修复背景下，后道Track 有望逐步重新放量，叠加前道Track国产替代快速推进，前道物理清洗等设备市占率提升，公司订单表现有望持续向好，将保障2024 年收入端稳健增长。

    Q3 单季度毛利率环比微降，政府补助增厚利润端表现2023Q1-Q3 公司实现归母净利润2.20 亿元，同比+54%，其中Q3 为0.85 亿元，同比+15%；实现扣非归母净利润1.82 亿元，同比+84%，其中Q3 为0.78 亿元，同比+134%。2023Q1-Q3 公司销售净利率为18.25%，同比+2.30pct；扣非销售净利率为15.06%，同比+4.00pct，盈利水平同比有所提升。1）毛利端：2023Q1-Q3 销售毛利率为42.46%，同比+2.37pct，其中Q3 毛利率41.12%，环比-1.00pct，我们判断主要系前道Track 收入占比提升。长期来看，受益于产品结构优化以及规模效应，公司综合毛利率呈整体上升趋势。2）费用端：2023Q1-Q3 公司销售期间费用率为26.41%，同比-1.53pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比+0.14、-0.93、-0.49、-0.26pct。3）2023Q1-Q3 公司其他收益达到7,016 万元，同比+135%，主要来自政府补助，2023 年10 月27 日公司再次收到政府补助2,647 万元，将对利润端表现产生较大积极作用。

    前道涂胶显影国产替代快速推进，清洗设备进一步打开成长空间公司积极布局前道涂胶显影设备领域，产品体系不断完善，国产替代进程有望加速推进，同时化学清洗机进一步打开成长空间。1）前道涂胶显影：公司作为国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商，目前已完成在前道晶圆加工环节28nm 及以上工艺节点的全覆盖。公司Off-line、Iline、KrF 机台等均已实现批量销售，浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc 机台也成功获得客户重复订单。此外，2022Q4 公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收，获得下游客户广泛认可。目前日本TEL 在涂胶显影领域仍占据主导地位，我们看好公司国产替代加速推进。2）清洗设备：公司前道SpinScrubber 单片式物理清洗机已作为主流机型广泛应用于中芯国际等国内知名厂商，2021 年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

    盈利预测与投资评级：考虑到政府补助带来的积极影响，我们调整2023-2025 年公司归母净利润预测分别为3.12、4.02 和5.81 亿元（原值2.76、3.98 和 5.74 亿元），当前市值对应动态PE 分别为66、51 和35 倍。基于公司在前道Track 和清洗领域的成长性，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。