业绩快速增长，研发持续高投入。公司上半年实现营收6.96 亿元，同比增长38%，实现归母净利润1.36 亿元，同比增长95%。研发投入0.77 亿元，同比增长80%。

    　　23H1 毛利率43.4%，相比22 年提升约5pcts。

    　　前道涂胶显影机领先优势强化，引领国产替代。公司于2022 年12 月推出第三代浸没式高产能平台架构FT300，上半年持续升级产品平台，对平台机构和内部腔体单元进一步完善与优化，能够全面向下兼容ArF、KrF、I-line、offline 等工艺。同时，在高端offline 设备方面取得拓，超高温Barc 设备实现客户重复订单，未来有望持续放量。应用于旋涂类工艺的SOC 设备也实现了客户端的导入，进一步延伸了公司的产品覆盖面。

    　　前道清洗机市占率稳步提升。公司在前道清洗机领域保持在国内领先优势，目前已作为主流机型广泛应用于中芯国际、上海华力、青岛芯恩、广州粤芯、上海积塔、厦门士兰等知名厂商。近年来，随着公司前道物理清洗机在高产能清洗架构、颗粒去除能力等工艺上实现了进一步的提升，产品竞争力不断增强，国内市占率稳步上升。

    　　后道及小尺寸设备领域短期承压，随库存调整下游需求有望恢复。 2023 年上半年，国内后道封测厂商扩产节奏有所放缓，目前仍处于周期性产能消化阶段，公司应用于后道的设备业务短期受行业情况影响略有承压。但23Q2 国内先进封测厂商稼动率环比已出现回暖迹象，未来汽车电子、工业电子及高性能计算等需求增长或将引领新一轮的资本开支计划，该部分设备业务需求有望持续恢复。

    　　我们预测公司23-25 年归母净利润分别为2.50、3.90、5.90 亿元（原23-24 年预测为2.45、3.75 亿元，下调了后道及小尺寸业务收入预测，上调了清洗机毛利率预测），根据DCF 估值法，给予193.09 元目标价，维持买入评级。

    　　风险提示

    　　半导体设备行业景气度不及预期；客户验证进展不及预期；零部件断供风险；盈利能力改善不及预期；市场份额提升不及预期。