订单持续快速交付确认，收入端延续高速增长态势2023Q1 公司实现营收2.88 亿元，同比+56.89%，延续高速增长，符合我们预期，营收端实现快速增长，主要系在手订单充足，设备持续交付确认。分行业看，小尺寸和后道封装产品仍是公司收入的主要来源，我们预计2023Q1 小尺寸和后道封装产品收入占比超过50%，前道产品因交付节奏影响，我们判断其收入占比较2022 年有一定下降，随着后续订单交付，前道营收占比有望持续提升。截至2023 年3 月31 日，公司存货和合同负债分别为14.40 和5.20 亿元，分别同比+33.05%和+19.75%，合同负债较2022 年末下降，我们推测系部分客户预收比例变化所致，我们判断公司在手订单仍然充足。此外，细分订单结构来看，我们判断其中前道Track、物理清洗设备订单占比合计超过50%，公司订单结构快速优化。展望2023年，随着2022 年新签订单陆续交付，公司收入端有望延续快速增长。

    产品结构变化导致毛利率提升，盈利水平持续提升2023Q1 公司实现归母净利润0.66 亿元，同比+103.55%，实现扣非归母净利润0.57 亿元，同比+82.38%，好于我们预期。2023Q1 年销售净利率和扣非销售净利率分别为22.89%和19.83%，分别同比+5.25pct 和+2.77pct，盈利水平进一步提升。1）毛利端：2023Q1 销售毛利率达45.31%，同比+6.56pct，我们判断主要系高毛利率的小尺寸和后道封装产品收入占比较高，同时成本优化使得小尺寸和后道封装产品毛利率较去年同期有一定提升。2）费用端：2023Q1 公司期间费用率为31.88%，同比+4.57pct，其中销售、管理、研发和财务费用率分别同比-0.52pct、-2.76pct、+5.28pct、+2.58pct，销售、管理费用率主要受益于规模效应，研发费用率提升明显主要系去年同期研发投入较少，研发费用率大幅提升是期间费用率提升主要原因。此外，嵌入式软件产品退税到账款增加同样增厚了报告期内净利润。

    日本制裁加速前道Track 国产替代，化学清洗机进一步打开成长空间公司积极布局前道涂胶显影设备领域，产品体系不断完善，日本制裁加速涂胶显影设备国产化进程，同时化学清洗机进一步打开成长空间。1）前道涂胶显影：公司Off-line、I-line、KrF 机台等均已实现批量销售，浸没式机台已陆续获得国内多家知名厂商订单，超高温Barc 机台也成功实现了客户导入。此外，2022Q4 公司首台浸没式高产能涂胶显影机在国内某知名客户处完成验证，已顺利实现验收。日本TEL 在涂胶显影领域具备全球主导地位，我们看好日本制裁升级背景下国产替代加速推进。2）清洗设备：

    公司前道Spin Scrubber 单片式物理清洗机已较为成熟，2021 年募投项目加码市场空间更大的单片式化学清洗机，有望成为第二成长曲线。

    盈利预测与投资评级：考虑到公司在手订单充足，我们维持2023-2025年营业收入预测分别为20.18、28.45 和 37.91 亿元，当前市值对应动态PS 分别为13、10 和7 倍，维持“增持”评级。

    风险提示：半导体行业投资下滑，新品研发&产业化不及预期等。