事件：芯源微发布 2022 年度报告，公司全年实现营业收入 13.85 亿元，同比增长 67.12%；归母净利润 2.00 亿元，同比增长 158.77%；扣非后归母净利润1.37 亿元，同比增长 114.99%。

    　　涂胶显影产品放量助力营收与签单量大增：2022 年公司新签订单规模同比大幅增长，集成电路 offline、I-line、KrF 设备全部实现批量销售并正在快速放量；LED、化合物半导体及封装领域产品也保持稳步增长。由于新签合同快速增长，2022 年底公司合同负债金额 5.85 亿元，同比增长 65.8%。

    　　浸没式 ArF 设备取得进展，国产替代有望加速：芯源微于 2022 年 12 月17 日发布了浸没式 ArF 涂胶显影设备 FT（III）300。该型设备能与 ArF 浸没式光刻机协作，具备较高的技术附加值。该型设备此前几乎被日本完全垄断，随着日本对半导体设备采取出口限制，国产替代有望加速。公司对标设备的意向客户已包括逻辑、存储、功率领域的知名厂商，未来技术水平与盈利能力有望进一步提升。

    　　清洗设备业务赋予公司额外成长动力：芯源微的集成电路用物理清洗机业务扩张较快，2022 年实现营收 5.50 亿元，同比增长 90%。公司清洗设备已获得中芯国际、上海华力、青岛芯恩、武汉新芯、北京燕东等多个前道大客户的批量重复订单，业务规模未来有望进一步扩大。

    　　投资建议：综合考虑半导体行业周期影响，公司业务多元化的进展及在手订单情况，我们预计公司 2023-25 年营收为 19.91/27.31/35.48 亿元，归母净利润分别为 3.15/4.59/6.19 亿元，对应 PE 为 85.27/58.53/43.41 倍，给予“增持”评级。

    　　风险提示：半导体市场下行周期叠加海外供应风险，国内晶圆厂设备采购放缓；新产品放量进度不及预期；行业竞争加剧。