公司是国内涂胶显影设备龙头，正发力清洗设备市场打开远期成长空间。公司自2002 年成立起专注于半导体设备领域，2012 年承担国家02 重大专项“300mm 晶圆匀胶显影设备研发”项目，2018 年首台国产高产能前道涂胶设备出厂并在上海华力进行设备工艺验证，2019 年前道用单片式清洗设备出厂并在中芯国际深圳厂进行设备工艺验证。目前公司在前道涂胶显影和物理清洗领域都取得突破性进展，其中涂胶显影设备已获得多个前道大客户订单及应用，下游客户覆盖逻辑、存储、功率器件及其他特种工艺等多家国内厂商，单片物理清洗设备也取得国内多家Fab 厂商的批量重复订单。公司目前持续推进前道涂胶显影设备的工艺验证，同时正在加大前道单片化学清洗设备的研发力度，未来前道设备放量有望带动公司业绩持续高增长。

    行业持续高景气叠加国产替代加速，国产半导体设备厂商份额持续提升。5G、新能源汽车等领域的蓬勃发展开启全球新一轮半导体景气周期，下游晶圆厂积极扩产带动半导体设备市场快速增长，SEMI 在2021 年12 月预计2022 年全球半导体设备市场规模将由2021 年的1030 亿美元增长至1140 亿美元。同时，成熟制程供不应求带动国内晶圆厂加速扩产，中美贸易摩擦背景下设备国产化趋势明显。2021 年中国大陆半导体设备销售额同比+58.2%至296.2 亿美元，成为全球第一大设备支出地区。芯源微等国产厂商加大产品开拓力度，下游晶圆厂积极配合设备验证导入，半导体设备国产化加速。随着下游客户的持续扩产及先进制程设备的研发及验证，国产半导体设备厂商份额有望持续提升。

    公司前道涂胶显影+清洗设备双双发力，产品持续迭代打造核心竞争优势。在前道涂胶显影设备领域，公司offline 涂胶显影机已实现批量销售，I line 涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段，KrF 涂胶显影机已经通过客户ATP 验收。公司持续推进工艺验证，同时不断进行产品迭代以提升竞争力，前道涂胶显影机现已具备快速实现国产替代的技术实力。在前道清洗设备领域，公司单片物理清洗设备Spin Scrubber 已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，单片化学清洗设备正在加速研发，未来有望复制公司在前道涂胶显影和单片物理清洗市场的成功路径，快速导入下游晶圆厂客户中。

    投资建议：半导体设备行业持续高景气，国产替代空间巨大，公司作为国内涂胶显影设备龙头，卡位优势明显，同时正立足单片物理清洗市场加速布局单片化学清洗设备。我们预计公司2022-2024 年归母净利润分别为1.40/2.22/3.27亿元，对应EPS 为1.51/2.40/3.54 元。考虑到公司涂胶显影及清洗设备均属于半导体设备业务，我们选择北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、华海清科共5 家可比公司，同时考虑到国产半导体设备厂商目前盈利水平较低，规模效应下未来业绩有望快速释放，本文采用PS 估值法。参考公司历史估值及行业可比公司估值，给予2022 年19 倍PS，对应目标价为271.35 元，首次覆盖给予“强推”评级。

    风险提示：中美贸易摩擦加剧；下游客户扩产不及预期；上游零部件供应短缺；行业竞争加剧。