核心观点

    业绩超预期，盈利能力保持较高水平。公司22Q1 实现营收1.8 亿元，同比增长62%；实现归母净利润3241 万元，同比增长398%；其中扣非归母净利润3133 万元，同比增长580%；Q1 毛利率38.75%，同比提升2.86pcts，环比提升3.59pcts。

    前道涂胶显影设备市场开拓顺利，份额有望加速提升：SEMI 预计2022 年全球晶圆厂资本开支达1070 亿美元，同比增长18%，带动设备需求提升；涂胶显影环节在半导体前道设备中投资占比约4%，公司是国内目前唯一能提供前道涂胶显影设备的厂商，offline 涂胶显影机产品已实现批量销售，I-line 涂胶显影机已经通过部分客户验证并进入量产销售阶段、KrF 涂胶显影机已经通过客户ATP 验收，有望持续放量引领国产替代。国内涂胶显影设备行业长期竞争格局极佳：由于涂胶显影机大部分机型需要与光刻机联机使用，壁垒高、验证成本高，与国内厂商对比来看，公司凭借深厚技术积累和在国内的先发优势有望占据市场中更多份额；与TEL 等海外厂商对比来看，公司凭借本土化的服务团队能够为客户提供低成本的定制化服务， 同时随公司与大客户合作加深后续产品有望加速迭代，技术差距将持续缩小，助力公司份额提升。

    积极布局清洗设备市场，持续打开成长天花板：公司目前清洗设备领域主要产品为单片物理清洗机（在单片清洗机中市场规模占比约13%），已达到国际先进水平，2021 年获得中芯国际、上海华力、武汉新芯、厦门士兰集科、扬杰科技、青岛芯恩、上海积塔等国内多家Fab 厂商的批量重复订单，成功实现进口替代，未来份额有望持续快速提升。公司也积极研发单片化学清洗设备（市场规模在单片清洗中占比87%），化学清洗设备与涂胶显影设备存在技术协同，同时更加丰富的产品布局可以使得公司产品实现配套销售，带动公司清洗设备份额提升。

    盈利预测与投资建议

    我们预测公司22-24 年每股收益分别为1.58、2.40、3.73 元，由于前道涂胶显影设备国产化空间巨大，我们采用绝对估值法（FCFF），给予157.30 元目标价，维持买入评级。

    风险提示

    半导体设备行业景气度不及预期；客户验证进展不及预期；零部件断供风险；盈利能力改善不及预期；市场份额提升不及预期。