国产涂胶显影设备龙头，产品进入下游国内外知名厂商①芯源微是一家深耕涂胶显影设备的半导体设备企业，目前主要产品包括光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机）。

    ②涂胶显影设备：产品覆盖集成电路制造、后道先进封装、化合物及LED 芯片等领域。在集成电路制造前道晶圆加工领域，公司产品陆续获得了上海华力、中芯绍兴、上海积塔等多个客户订单。在后道先进封装等领域，机台作为主流机型打入台积电、长电科技、华天科技等多家国内知名大厂。

    ③单片式湿法设备：公司覆盖多款单片式湿法设备，其中前道清洗设备Spin Scrubber 客户覆盖国内多家一线Fab 厂，在国内部分头部客户新建产线中取得较高市占率。

    订单快速增长，持续高研发投入保持国内细分行业龙头地位①随着产品成熟度提升，公司业绩进入放量期。2021Q1-Q3 实现营业收入、归母净利润分别为5.47、0.53 亿元，分别同比增长158.20%、18.80%。公司业绩高增长主要系公司新产品验证顺利、销售订单高速增长。

    ②持续高研发投入。2018-2020 年公司研发费用率分别为16.29%、16.45%和13.81%，为公司新产品研发持续提供资金支持。此外公司研发投入全部做费用化处理，利润较为扎实。

    涂胶显影国产化重要推动者，前道Spin Scrubber 设备国内领先①全球涂胶显影市场规模超25 亿美元，其中前道占比超90%。

    公司在后道涂胶显影领域是国内龙头，并后大力发展前道，前道设备在众多大厂验证成功且获得订单，有望打破日企垄断。

    ②全球清洗设备空间超30 亿美元，公司目前产品Spin Scrubber可覆盖其中10%市场。目前公司Spin Scrubber 国内市占率已超40%，以此为基础向剩余90%湿法清洗拓展，打开更大成长空间。

    盈利预测：考虑到“缺芯”背景下半导体设备行业上行周期与国产替代持续+公司在涂胶显影、清洗设备等领域不断提升产品工艺覆盖面，判断公司2021-2023 年收入为8.34、12.22、15.46 亿元，归母净利润分别为0.93、1.33、2.28 亿元，给予“买入”评级。

    风险因素：前道设备验证不及预期，行业景气度下滑，市场竞争加剧，厂房建设不及预期