公司发布2021 三季报。2021 年前三季度公司共实现营收5.47 亿，同比增长158.20%；归母净利润0.53 亿，同比增长18.80%。报告期内半导体设备维持高景气度，公司加大市场开拓力度，在手订单依旧充沛。

    　　2021Q3 单季营收1.96 亿，同比增长31.32%。报告期末，公司存货8.50亿，公司积极备货原材料、在产品等以应对快速增长的需求，此外公司合同负债增至2.88 亿，预收账款进一步增加。

    　　公司订单饱满，新工厂预计2021Q4 将部分投产。当前公司在手订单饱满，现有厂区满负荷运转，高端晶圆处理设备产业化一期项目预计2021Q4部分投产，届时公司产能将得到有效扩充。定增扩产二期项目以及未来上海临港项目，持续研发、扩产包括浸没式ArF、前道I-line 与KrF 光刻工艺涂胶显影机、前道Barc 涂胶机以及后道先进封装Bumping 制备工艺涂胶显影机等，以满足业务规模快速增长需求。

    　　前道设备持续通过客户端的验证与改进，公司具备优质的客户资源。公司前道涂胶显影设备陆续获得上海华力、长江存储、武汉新芯、中芯绍兴、厦门士兰集科、上海积塔、株洲中车、青岛芯恩、中芯宁波、昆明京东方等多个前道大客户订单。公司前道Spin Scrubeer 清洗机已经在中芯国际、上海华力、厦门士兰集科等多个客户处通过工艺验证，并获得国内多家Fab 厂商的批量重复订单。

    　　产品持续迭代，并受益于半导体设备国产替代需求加速。跟踪国内晶圆厂主要招投标数据，涂胶显影及单片式湿法设备绝大多数由海外尤其是日本龙头厂商供应，芯源微作为国内该领域龙头厂商，处于加速导入过程。以中芯绍兴招投标数据为例，2020 年芯源微涂胶显影机在中芯绍兴涂胶显影设备招标中实现0 的突破，中标机台数占比直接提升至23%。在中芯绍兴清洗设备的中标数量份额由2019 年的10%提升至2020年的22.2%。

    　　伴随国内晶圆代工厂资本开支大幅提升，公司有望加速受益设备国产化进程。

    　　涂胶显影国产化龙头厂商，增长潜力巨大，决定性强。作为国内唯一能提供中高端涂胶显影设备的龙头，不断向技术难度更高的前道设备领域拓展，国产替代潜力巨大。公司短期后道设备、化合物设备、前道设备及物理清洗设备持续放量，国产替代空间较大。预计公司2021~2023 年归母净利润分别为0.84、1.43、1.83 亿元，维持“买入”评级。

    　　风险提示：下游需求不及预期、新市场开拓不及预期