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    　　公司10 月29 日晚发布2021 年三季报，前三季度实现营业收入5.47 亿元，同比增长158.20%，归母净利润0.53 亿元，同比增长18.80%；其中Q3 单季度实现营业收入1.96 亿元，同比增长31.32%，归母净利润0.18 亿元，同比减少53.17%。

    　　简评

    　　2021Q3 收入保持增长，受产品结构影响盈利能力有所下降①公司2021Q3 实现营收1.96 亿元，同比增长31.32%，归母净利润0.18 亿元，同比减少53.17%。公司营收规模保持增长，主要因为半导体行业景气度持续向好，公司新产品推广顺利；净利润下降主要因为毛利率降低、研发费用等费用增加。

    　　②订单：在手订单饱满，新签订单保持增长。截至2021 年9 月，公司合同负债总额为2.88 亿元，较2020 年末1.32 亿元增长117.58%，公司存货为8.50 亿元，较2020 年末4.02 亿元增长111.19%，其中在产品占比50%以上。二者均反映出公司新签订单快速增长。公司新签订单中前道涂胶显影、清洗设备占比不断提升，为其未来业绩高增长奠定良好基础。

    　　③利润率：2021 年前三季度公司毛、净利率分别为39.59%、9.70%，同比分别下降3.78、11.38pct；Q3 单季度毛、净利率分别为37.48%、9.18%，同比分别下降5.63、16.56pct，环比分别下降5.61、2.85pct。毛利率下降主要因为前道产品收入占比提高，而前道产品仍处于市场开拓期，毛利率较低，拉低了整体毛利率。

    　　④费用率：2021 年前三季度公司期间费用率为33.30%，同比下降4.43pct；其中销售、管理、研发、财务费用率分别为9.26%、11.59%、12.59%、-0.14%，同比分别变化-1.69、-4.71、1.44、0.52pct。

    　　Q3 单季度期间费用率为32.33%，同比增长12.56pct；其中销售、管理、研发、财务费用率分别为10.34%、11.65%、9.93%、0.40%，同比分别为3.97、4.38、3.64、0.56pct。Q3 单季度期间费用上升主要因为营收环比有所下降，而前三季度期间费用率依旧下降，公司在积极把控成本费用的基础上，持续加大研发，前三季度研发费用为0.69 亿元，同比增长191.58%。

    　　前道产品逐步验证放量+定增扩产驱动业绩增长，布局湿法清洗打造第二成长曲线①公司产品包括涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机）两大品类，可应用于8/12 英寸单晶圆处理（前道晶圆处理、后道先进封装等）以及6 英寸及以下单晶圆处理（化合物、MEMS、LED 芯片制造等）多个下游领域。公司当前收入主要来源后道先进封装、6 英寸及以下单晶圆制造领域，但前道晶圆处理环节增长显著。

    　　②前道产品验证顺利推进，部分产品获得国内多个客户订单。公司前道产品包括前道涂胶显影设备、SpinScrubber 清洗设备两大类。前道涂胶设备领域，公司为国内唯一可提供高端光刻涂胶显影设备厂商，卡位优势突出。前道工艺中，公司已完成28nm Off-line 工艺全验证，In-line 工艺中I-line 已通过验证，ArF、KrF 工艺则有望在年内完成中试。前道涂胶显影设备均价在千万级以上，尤其是In-line 工艺机台单价更是在2000 万元以上，产品验证放量后将为公司贡献更高的业绩增长；前道清洗设备领域，公司单片式清洗设备Spin Scrubber 可覆盖至28nm 制程，已达国际领先水平，在国内多个重要客户处获得批量重复订单，成功实现进口替代。

    　　③定增募资加大ArF 涂胶显影设备、单片式化学清洗设备研发，同时扩张产能打破产能瓶颈。公司通过定增募资方式实施上海临港研发及产业化项目与高端晶圆处理设备产业化项目（二期）两个项目：前者拟在上海临港建设研发与生产中心，用于生产前道ArF、ArFi 涂胶显影机以及单片式化学清洗设备等半导体设备。其中ArF、ArFi 涂胶显影设备为In-line 工艺中重要组成部分，化学清洗设备则占到半导体清洗设备市场90%份额。新产品的研发将为公司打开更大市场空间。后者则计划在沈阳扩张前道I-line 与KrF 涂胶显影设备、前道Barc（抗反射层）涂胶机以及先进封装Bumping 制备工艺涂胶显影机产能。

    　　投资建议与评级：从行业维度看，公司作为国内高端涂胶显影设备唯一供应商，充分受益晶圆投资高景气+国产浪潮。从公司维度看，一方面，公司前道涂胶显影、Spin Scrubber 清洗设备在头部客户中取得不同程度进展，为其放量打下基础；另一方面，公司基于原有产品基础，继续向涂胶显影中的ArFi 机台、清洗设备中的化学湿法清洗积极拓展，不断打开更大市场空间。预计公司2021-2023 年收入分别为8.32、12.22、15.46 亿元，归母净利润分别为0.93、1.49、2.05 亿元，同比分别增长89.8%、60.7%、37.5%，对应2021-2023 年P/E 分别为195.3x、121.6x、88.4x，维持“买入”评级。

    风险因素：前道设备验证不及预期，行业景气度下滑，市场竞争加剧，厂房建设不及预期