中微公司发布2025 一季报。公司收入同比快速增长，利润同比稳健提升。公司显著增大研发投入力度，多种关键刻蚀工艺实现量产，LPCVD 设备获得批量订单，EPI 设备进入量产验证阶段，子公司已规划多款量检测设备新品，维持“增持”投资评级。

    　　2024 年刻蚀设备收入快速增长，薄膜沉积设备实现首台销售。公司全年收入90.65 亿元，同比+44.7%；归母净利润16.16 亿元，同比-9.5%；扣非净利润13.88 亿元，同比+16.5%；剔除股份支付费用后的扣非净利润18.46 亿元，同比+23.6%。公司全年刻蚀设备收入约72.77 亿元，同比+54.72%；薄膜沉积设备实现首台销售，全年收入约1.56 亿元；MOCVD 设备收入约3.79 亿元。

    　　25Q1 收入同比快速增长，显著加大研发力度。25Q1 公司收入21.73 亿元，同比+35.4%/环比-38.9%；毛利率41.5%，同比-3.4pcts/环比+2.3pcts；归母净利润3.13 亿元，同比+25.7%/环比-55.4%；扣非净利润2.98 亿元，同比+13.4%/环比-48%。公司25Q1 研发投入6.87 亿元，同比+90.53%，收入占比达31.6%，占比远超行业平均水平。公司表示研发新品速度显著加快，目前仅需2 年或更短的时间就能开发出有竞争力的新品。

    　　超高深宽比等刻蚀关键工艺实现量产，EPI 设备进入量产验证阶段，规划多款量检测设备产品。1）刻蚀工艺：公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产；2）薄膜工艺：六种薄膜设备进入市场，开发多款金属薄膜沉积设备和新一代等离子体源的PECVD 设备；LPCVD 和ALD 设备多款新品进入市场并获得重复性订单，其中LPCVD 设备2024 全年签单约4.76 亿元；EPI 设备进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件、MEMS 和传感器、CIS、功率及射频等客户的工艺验证；化合物半导体外延设备陆续付运至客户端开展验证；3）量检测工艺：公司布局量检测设备板块，子公司“超微公司”引入多名国际顶尖的电子束检测设备领域专家和领军人才，均拥有10 年以上电子束设备研发与产品商业化经验，已经规划多款量检测设备产品。

    　　投资建议。公司2024 全年和25Q1 收入同比均快速增长，主要受益于机台发货量显著增长。公司显著加快了研发进度，在关键刻蚀/薄膜等工艺上进展顺利， 并通过子公司布局多款电子束量检测设备新品。我们预计公司2025/2026/2027 年收入为119.3/151.2/185.0 亿元， 归母净利润为22.1/29.9/38.9 亿元，对应PE 为52.8/39.1/30.0 倍，维持“增持”投资评级。

    　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。