2024 年10 月29 日，公司发布2024 年第三季度报告。

    新增订单维持高增速，全年新增订单将达110-130 亿元24Q3 公司实现营收20.59 亿元，同比增长35.96%，环比增长11.77%；其中，刻蚀设备收入达17.15 亿元，同比增长49.41%，环比增长25.83%。归母净利润3.96亿元，同比增长152.63%，环比增长48.11%；扣非归母净利润3.30 亿元，同比增长53.79%，环比增长49.92%；毛利率43.73%，同比减少2.01 个百分点，环比提升5.56 个百分点；研发投入5.73 亿元，同比增长75.12%，主要系公司持续加大研发力度，目前在研项目涵盖六类设备，20 多个新设备的开发。

    2024 年前三季度公司新增订单76.4 亿元，同比增长约52.0%。其中刻蚀设备新增订单62.5 亿元，同比增长约54.7%；LPCVD 新增订单3.0 亿元，新品开始启动放量。根据公司2024 年8 月投资者调研纪要，24H1 新增订单中先进制程（包括先进逻辑及存储）占比超70%；公司预计2024 年累计新增订单将达110-130 亿元。

    2024 年前三季度公司付运专用设备1514 台，同比增长239%；生产专用设备1160腔，同比增长约310%，对应产值约94.19 亿元，同比增长约287%。2024 年9 月末发出商品余额约35.07 亿元，较年初余额的8.68 亿元增长26.40 亿元；2024 年9 月末合同负债余额约29.88 亿元，较年初余额的7.72 亿元增长约22.16 亿元。

    高端刻蚀产品新增付运量显著提升，薄膜沉积产品覆盖存储器件所有钨应用刻蚀：公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升。CCP 方面，2024年前三季度交付超1000 个反应台，累计交付超3800 个反应台；先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。ICP 方面，Primo-Twin Star在多个客户获得重复订单；在先进逻辑和存储芯片中关键ICP 刻蚀工艺的高端ICP 设备付运大幅提升。

    薄膜沉积：钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，已在关键客户多道应用实现量产，并取得多个系统量产订单，同时新增多家客户装机量，相关设备验证有序推进。此外，公司多款CVD 和ALD 设备研发顺利推进，不断增加薄膜设备覆盖率以进一步拓展市场。EPI 设备顺利进入客户端量产验证阶段，已完成多家先进逻辑器件与MTM 器件客户的工艺验证，结果获得客户高度认可。

    MOCVD：几款已付运和即将付运的MOCVD 新品正陆续进入市场。PrismoUniMax在Mini-LED 显示外延片生产设备领域持续保持国际领先地位；制造Micro-LED 应用的新型CVD 设备在客户端进行验证测试；用于SiC 功率器件外延生产的设备付运到客户端开展验证测试。

    投资建议：我们维持此前对公司的业绩预测。预计2024 年至2026 年，公司营收分别为83.68/111.63/145.90 亿元，增速分别为33.6%/33.4%/30.7%；归母净利润分别为18.10/23.96/32.35 亿元，增速分别为1.4%/32.4%/35.0%；PE 分别为62.3/47.0/34.8。中微持续推进平台型设备公司建设，实现了刻蚀设备全面覆盖，薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备，投资上海睿励布局检测设备，三大产品线持续注入强劲增长动力。持续推荐，维持“买入-A”评级。

    风险提示：新技术、新工艺、新产品无法如期产业化风险，市场竞争加剧风险，晶圆厂产能扩充进度不及预期的风险，系统性风险等。