半导体设备龙头业绩增长超预期。公司发布23 年业绩预告。23 年，公司预计营业收入约62.6 亿元，同比增长约32.1%。其中，23 年刻蚀设备销售约47 亿元，同比增长约49.4%;MOCVD 设备销售约4.6 亿元，同比下降约34.0%。公司从2012 年到23 年超过十年的平均年营业收入增长率超过35%。公司预计23 年归母净利润为17-18.50 亿元，同比增加约45.32-58.15%，业绩增长超预期。公司预计23 年扣非归母净利润为11-12.4 亿元，同比增长约19.64-34.86%。

    刻蚀设备市场份额快速提升，订单规模和增速超预期。23 年公司新增订单约83.6 亿元，同比增长约32.3%。其中，刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%，半导体刻蚀设备订单增长超预期；MOCVD设备新增订单约2.6 亿元，由于终端市场波动影响，同比下降约72.2%。

    刻蚀主业夯实领先优势，新应用、新品类产品快速导入市场。公司刻蚀设备在性能、稳定性等方面满足了客户先进制程中各类严苛需求，在产业化推进过程中取得显著成果。受益于完整的单/双台产品布局和应用覆盖丰富等优势，公司CCP/ICP 刻蚀设备均在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升；公司的TSV 硅通孔刻蚀设备也越来越多地应用在先进封装和MEMS 器件生产。公司新产品开发进展显著，新开发的LPCVD 和ALD 设备目前已有四款设备产品进入市场，其中三款设备已获得客户认证，并开始得到重复订单；新开发的硅和锗硅外延设备、晶圆边缘Bevel 刻蚀设备等多个新产品，也会在近期投入市场验证。

    盈利预测与投资建议。预计公司23-25 年收入62.61/85.57/125.19 亿元，归母净利润18.35/23.41/31.74 亿元，维持公司合理价值222.62元/股的观点不变，维持“买入”评级。

    风险提示。行业周期波动；客户拓展不及预期；市场竞争加剧。