中微公司发布2023 半年报，收入25.27 亿元，同比+28%；扣非归母净利润5.2亿元，同比+17.8%。公司刻蚀设备市占率不断提升，工艺持续突破，23Q2 收入同环比均实现增长，维持“增持”投资评级。

    　　23H1 收入和业绩同比稳健增长，23Q2 盈利能力保持稳健。1）23H1：收入25.27 亿元，同比+28%；归母净利润10 亿元，同比+114%；扣非归母净利润5.2 亿元，同比+17.8%；2）23Q2：收入13 亿元，同比+27.5%/环比+6.6%；毛利率45.9%，同比+0.6pct/环比持平；归母净利润7.27 亿元，同比+108%/环比+164%；扣非归母净利润2.9 亿元，同比+14.5%/环比+27.7%。非经常收益主要系23Q2 出售部分拓荆股票带来的4.06 元收益，23Q2 扣非净利率22.3%，同比-2.5pcts/环比+3.7pcts。

    　　23Q2 刻蚀设备收入稳健增长，MOCVD 设备收入同环比承压。1）刻蚀设备：

    　　23H1 收入17.22 亿元，同比+32.5%，毛利率46.2%，同比持平；23Q2 收入9.08 亿元，同比+55%/环比+11.5%；2）MOCVD 设备：23H1 收入2.99 亿元，同比+24%，毛利率37.9%，同比进一步提升2.5pcts；23Q2 收入1.32亿元，同比-34%/环比-21%。

    　　大马士革和极高深宽比刻蚀工艺取得突破性进展，ICP 工艺覆盖度持续提升。

    　　针对28nm 以下逻辑工艺，公司大马士革一体化刻蚀机取得重大突破，可调节电极间距的CCP 刻蚀机Primo SD-RIE 已经进入客户验证阶段；针对3DNAND 存储工艺，公司自主开发的极高深宽比刻蚀机已经在客户端验证具有刻蚀≥60:1 深宽比结构的能力；ICP 迅速扩大市场并在50 多个产线上量产，Nanova VE HP 和Nanova LUX 的推出极大扩大ICP 验证工艺范围，在先进逻辑、DRAM、3D NAND 的工艺覆盖率有望扩展到50-70%不等。

    　　CVD/ALD 验证顺利，MOCVD、EPI 新品加速拓展。1）CVD/ALD：2022 年交付的W CVD 验证进展顺利；用于先进逻辑和存储的ALD TiN 设备预计23H2 发往客户端进行量产验证；公司计划完善先进金属CVD 和ALD 设备全品类解决方案；2）MOCVD/EPI：用于GaN 器件的Prismo PD5 已经在客户生产线上验证通过并获得重复订单，下一代GaN MOCVD 正在顺利推进；用于SiC 的外延设备，及用于Micro LED 的MOCVD 设备也将推向市场。

    　　公司完成对上海睿励增资，向检测领域进一步延伸。在检测领域，上海睿励主营工艺检测设备，中微公司此前持股34.75%，为第一大股东。2023 年4月3 日，大基金将持有的上海睿励6.76%的股权在上交所挂牌交易，中微于4 月28 日竞购成功，加强向检测设备的产业链延伸。

    　　投资建议。公司23H1 收入和业绩同比稳健增长，刻蚀设备市占率不断提升，大马士革和极高深宽比工艺均有所重大突破；公司在薄膜沉积领域有所突破，并加大检测设备布局力度。未来伴随公司ICP 等工艺覆盖度提升和新品推出，其市场份额有望进一步提高。我们预计公司2023/2024/2025 年收入为55.5/65.4/75.3 亿元，对应PS 为14.9/12.6/11.0 倍，预计2023/2024/2025年归母净利润为14.8/15.0/18.0 亿元，对应PE 为55.9/55.0/45.9 倍。维持“增持”投资评级。

    　　风险提示：下游晶圆厂扩产不及预期，美国半导体设备出口管制加剧，新品研发不及预期，行业竞争加剧的风险。