公司2022 年营业收入47.40 亿元，同比+52.5%，继续保持高速增长。其中刻蚀设备和MOCVD 设备等产品保持国内领先并实现快速出货，同时持续高研发投入开发EPI、LPCVD 和ALD 等新产品。考虑到公司依然处于业绩快速成长期，我们给予2023 年17 倍PS，对应目标价173 元，维持“买入”评级。

    营收端：公司2022 年营业收入47.40 亿元，同比+52.5%，2012~2021 年营收CAGR 超35%。2022 年度，（1）公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，市场占有率不断提高，在国际最先进的5nm 芯片产线及下一代更先进的生产线上均实现了多次批量销售。（2）MOCVD 设备在新一代Mini-LED 产业化中、在蓝绿光LED 生产线上取得了绝对领先的地位。（3）公司的各种新产品开发，包括用于更先进微观器件制程的薄膜设备和刻蚀设备等也取得了进展，即将为贡献公司高速和持续的销售增长。22Q4 单季度来看：公司营收17.0 亿元，同比+63.89%，环比+58.40%。展望未来，2022 年公司新签订单金额为63.2 亿元，同比+53.0%；Q4 单季度新签订单6.8 亿元，同比+11.7%，新签订单继续延续稳定增长趋势，我们预计订单后续确认收入将支撑公司未来营收稳定高速增长。

    利润端：公司扣非归母净利润高速增长，非经常性收益减少造成归母净利润增速趋缓。2022 年，公司毛利率为45.74%，同比+2.38pcts；归母净利润为11.70亿元，同比+15.66%；扣非归母净利润为9.20 亿元，同比+183.44%。单季度来看，Q4 归母净利润为3.77 亿元，同比-19.75%，环比+15.87%；扣非归母净利润2.76 亿元，同比+72.79%，环比+35.58%。2022 年公司扣非归母净利润实现同比快速增长，主要是受益于半导体设备市场发展以及公司产品竞争优势，营收实现快速增长，同时毛利率也稳步提升。但是公司归母净利润增长较慢，主要是2022 年公司非经常性收益同比减少约4.42 亿元，影响因素包括①政府补助收益同比减少约1.65 亿元；②因股权投资产生的公允价值变动收益和处置收益同比减少约3.52 亿元。

    2022 年，公司刻蚀设备和MOCVD 设备等产品均取得了里程牌式的突破，同时在积极扩大产能满足未来需求。产品方面：1）CCP：公司2022 年共生产付运475 个CCP 刻蚀反应腔，同比增长59.40%。公司在现有产品的基础上，分别针对逻辑器件的一体化大马士革刻蚀工艺和存储器件的极高深宽比刻蚀技术进行技术攻关，并取得良好进展。2）ICP：公司的ICP 刻蚀设备在超过20 个客户的逻辑、DRAM 和3D NAND 等器件的生产线上进行超过100 多个ICP 刻蚀工艺的量产，并持续扩展到更多刻蚀应用的验证。截止2022 年底，Primo Nanova系列产品在客户端安装腔体数已达到297 台，且在客户端完成验证的应用数量也在持续增加。3）MOCVD：截止2022 年，公司累计MOCVD 产品出货量超过500 腔，持续保持国际氮化镓基MOCVD 设备市场领先地位。其中PrismoUniMax 产品自2021 年6 月正式发布以来，累计出货量已超过120 腔，在Mini-LED 显示外延片生产设备领域处于国际领先。同时，公司针对Micro-LED应用的专用MOCVD 设备正开发中。4）CVD：2022 年，公司首台CVD 钨设备付运到关键存储客户端验证评估，公司正在进一步开发新型号CVD 钨和ALD钨设备来实现更高深宽比结构的材料填充。在现有的金属CVD 和ALD 设备研发基础上，公司计划研发更多的先进CVD 和ALD 设备，增加薄膜设备的覆盖率，进一步拓展市场。产能方面：根据公司公告，公司的南昌生产和研发基地已部分投入使用，临港的生产和研发基地预计于2023 年上半年投入使用，临港总部大楼预计于2024 年竣工。届时，比现有厂房大15 倍、总面积约45 万平米的厂房和办公楼将为公司今后的快速发展提供保障。

    风险因素：国际贸易摩擦加剧风险；下游客户扩产不及预期的风险；政府补助与税收优惠政策变动的风险；关键技术人员流失的风险；投资项目的建设进度及实际效益与预期结果较大差异的风险；技术被赶超或替代的风险。

    盈利预测、估值与评级：伴随着高端新产品及新品类设备的持续推出，我们预期公司将得益于全球尤其是国内半导体设备需求增加，实现业绩快速提升。因此我们上调公司2023/24 年营收预测至62.58/81.27 亿元（原预测值为62.37/81.26 亿元），新增2025 年营收预测为102.64 亿元；考虑到未来公司高毛利新品持续推出和产能扩大稀释生产成本带来产品毛利率提升，我们调整公司2023/24 年归母净利润预测至13.87/18.37 亿元（原预测为15.30/18.84亿元），对应EPS 为2.25/2.98 元（原预测为2.48/3.06 元），新增2025 年净利润预测为20.98 亿元，对应EPS 为3.40 元。因为高研发投入以及采用销量收入作为公司成长的主要观察指标，市场对半导体设备企业普遍采用PS 估值，截至2023年1 月30 日，A 股中可比半导体设备公司（北方华创、盛美上海、芯源微、拓荆科技、华海清科、华峰测控）2023 年Wind 一致预期的平均PS 为12 倍。同时考虑到当前半导体设备板块的估值处于相对低位，公司近一年的当年PS 倍数在13~26 倍区间波动，均值为19 倍；此外，可比公司近一年当年PS 估值均值为19 倍。因此我们给予公司2023 年17 倍PS，目标价173 元，维持“买入”评级。