3Q22 营收同比增长45.9%，归母净利润同比增长123.9%。公司1-3Q22 营收30.43 亿元（YoY +46.81%），归母净利润7.93 亿元（YoY +46.34%），扣非后归母净利润6.44 亿元（YoY +290.43%），扣非后的归母净利润同比增长约4.79亿元，非经常性损益同比减少2.28 亿元，主要系政府补助减少约2.16 亿元，公允价值变动收益同期减少0.52 亿元，主要系公司持有的中芯国际的股价下降产生；3Q22 营收10.71 亿元（YoY +45.9%，QoQ +4.7%），归母净利润3.25亿元（YoY +123.9%，QoQ -7.3%），扣非后归母净利润2.03 亿元（YoY +96.7%，QoQ -20.1%）。

    　　前三季度新签订单同比增长60.24%。公司1-3Q22 新签订单金额达56.40 亿元（YoY +60.24%）。前三季度刻蚀设备收入为20.01 亿元（YoY +48.00%），其中CCP 刻蚀设备收入14.51 亿元（YoY +29.27%），ICP 刻蚀设备收入5.51 亿元（YoY +139.33%）；MOCVD 设备收入3.88 亿元（YoY +27.70%）。3Q22 刻蚀设备收入7.02 亿元（YoY +41.96%，QoQ +20.0%），MOCVD 设备收入1.47 亿元（YoY+73.89%,QoQ -26.1%）。

    　　3Q22 毛利率同比提升2.42pct，经营净现金流同比下降82%。1-3Q22 毛利率45.51%（YoY +2.83pct），3Q22 毛利率45.78%（YoY +2.47%,QoQ +0.51%），同比提升主要得益于刻蚀设备和MOCVD 设备毛利率的提升，1-3Q22 刻蚀设备毛利率46.48%，同比增加2.5pct；MOCVD 毛利率35.83%，同比增加3.62pct。

    　　公司3Q22 期间销售、管理、研发、财务费用率分别为9.3%、4.6%、13.9%、-3.5%，同比变动+0.8、-2.1、+1.5、+1.6pct。1-3Q22 经营净现金流0.73亿元（YoY -82%），主要系公司应对业务增长进行原材料备货，及增大对客户出货导致存货大幅增加，购买商品、接受劳务支付的现金同比增加。

    　　MOCVD 业绩大增，薄膜沉积设备加速布局。公司3Q22 MOCVD 设备收入同比大增约73.89%，MOCVD 设备已经过国内外头部厂商验证，设备产能，沉积厚度均匀性，控温设计等均已达到国际领先水平，公司针对Micro LED 的新型产品预计在2023 年推出；公司的LPCVD 设备已进入客户工艺验证阶段，预计将于2022 年末推出；同时布局Epi 外延设备，已完成样机设计，进入调试阶段，预计于2022-2023 年推出。

    　　投资建议：晶圆厂扩产提升设备需求，贸易摩擦加快国产替代进程，我们预计公司22-24 年归母净利润为12.19/15.59/19.22 亿元，同比增速为20.5%/27.9%/23.3%，对应PE 为54.0/42.2/34.2 倍，维持“增持”评级。

    　　风险提示：新业务开拓不及预期；需求不及预期；贸易摩擦加剧等。