事件：公司发布2022 年三季报，2022 年前三季度公司实现营收30.43 亿元，同比增长46.81%；归母净利润7.93 亿元，同比增长46.34%；扣非净利润6.44 亿元，同比增长290.43%。2022 年Q3 单季度实现营收10.71 亿元，同比增长45.92%，环比增长4.75%；归母净利润3.25 亿元，同比增长123.91%，环比下降7.25%；扣非净利润2.03 亿元，同比增长96.69%，环比下降20.09%。

    业绩高速增长，新签订单饱满：公司2022 前三季度业绩表现亮眼，营收端和利润端均实现大幅增长。营收方面，分产品来看，2022 前三季度刻蚀设备实现收入20.01 亿元，同比增长48.00%，其中CCP/ICP 分别实现收入14.51/5.51 亿元，同比分别增长29.27%/139.33%，占刻蚀设备比重分别为72.5%/27.5%;公司MOCVD 产品前三季度营收3.88 亿元，同比增长27.70%。利润方面，一方面受营业收入大幅增长带动；另一方面公司刻蚀设备和MOCVD设备前三季度分别高达46.48%/35.83%的毛利率推升公司整体毛利率至45.51%，同比提升2.83pct,毛利实现大幅增长，两方面因素致使公司利润端实现高增。费用方面，前三季度公司销售/管理/研发/财务费用率分别为8.94%/4.97%/14.86%/-4.58% ， 同期变动分别为-1.21/-2.46/+2.38/-2.46pcts，整体费用管控良好。此外，2022 前三季度公司新签订单达到56.40 亿元，同比增长60.24%，在手订单饱满。随着订单产能陆续释放，公司业绩有望延续高增长态势。

    刻蚀设备稳定放量，持续受益半导体国产替代：公司作为国内半导体刻蚀设备领域龙头，受益于晶圆厂产能扩张及国产替代持续推进，刻蚀设备持续放量，2022 年Q3 刻蚀设备单季度实现营收7.02 亿元，同比增长41.96%，继续延续高增长态势。从新产品开拓进度来看，公司开发的用于逻辑器件的12 英寸高端刻蚀设备已运用在国内外知名客户65 纳米到5 纳米及更先进的芯片生产线上，5 纳米及更先进刻蚀设备已获得行业领先客户的批量订单，公司目前也在开发新一代涵盖5 纳米以下的大马士革刻蚀工艺设备。公司电容性等离子体刻蚀设备目前可应用于64 层、128 层及更高层 数NAND 的量产，新一代能够涵盖200 层以上刻蚀设备处于研发进程中。

    公司电感性等离子刻蚀设备已在多个逻辑芯片和存储芯片厂商客户端量产，并在进一步开发满足5 纳米以下的逻辑芯片、1X 纳米的DRAM 芯片和200 层以上的3D NAND 芯片等产品需求的刻蚀设备。随着晶圆厂产能持续扩张及国产替代的加速推进，叠加公司先进产品下游客户端的持续渗透，公司刻蚀主业有望保持稳定增长。

    MOCVD 快速起量，下游渗透率持续提升：公司2022 年Q3MOCVD 设备实现营收1.47 亿元，同比大幅增长73.89%，MOCVD 产品实现快速放量。当前，公司也在进一步加码MOCVD 新产品及新领域拓展，不断提升产品市场渗透率，其用于制造深紫外光LED 的高温MOCVD 设备Prismo HiT3，已在客户端进行生产验证并获得重复订单；用于Mini LED生产的MOCVD 设备Prismo UniMax已在客户端开始进行规模化生产，并取得180 台的客户订单。同时，公司制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD 设备已在客户芯片生产线上验证；此外，制造Micro LED 应用的新型MOCVD 设备以及用于碳化硅功率器件应用的外延设备等也正在开发中。

    维持“增持”评级：我们看好公司半导体设备受益半导体供给端产能扩张，技术持续突破，市场份额有望进一步提升，预计公司2022 年-2024 年的归母净利润分别为10.52/13.36/16.75 亿元，EPS 为1.97/2.50/3.13 元，对应PE 分别约为54X、43X、34X，维持“增持”评级。

    风险提示：技术突破不及预期；半导体行业扩张不及预期；LED 新兴应用发展不及预期；中美科技摩擦加剧。