前三季度营收同比增长47%达30.4 亿元，归母扣非净利润同比增长290%至6.4 亿元。前三季新签订单金额同比增长60%达56.4 亿元；合同负债继续提升，三季度末达19.7 亿元。三季度单季营收、毛利润和归母扣非净利润分别为10.7、4.9 和2.0亿元，同比分别增长46%、58%和97%。

    　　刻蚀设备维持高增长：前三季刻蚀设备收入为20.0 亿元，同比增长48%，毛利率46.5%；其中CCP 刻蚀设备前三季收入同比增长29%至14.5 亿元，ICP 刻蚀设备前三季收入同比增长139%至5.51 亿元。中微刻蚀设备的双反应台技术大幅提升加工效率。中微CCP 设备在一些主要客户的生产线已达30%甚至更高的市占率，部分设备正在国际客户5 纳米晶圆生产线的部分应用上稳定可靠的进行大生产，并在5 纳米以下的器件试生产上取得可喜的进展。公司的用于逻辑器件大马士革刻蚀及用于极高深宽比存储应用的刻蚀机开发进展顺利，将陆续进入市场。

    　　MOCVD 受益于Mini LED 市场增长：前三季MOCVD 设备收入为3.9 亿元，毛利率达到35.8%。公司近日运付第500 台MOCVD 设备，用于氮化镓基Mini LED 外延片量产，Mini LED 已广泛应用于电视、笔记本电脑、平板电脑、桌面显示器、车载显示屏、户外显示屏等终端产品。中微的Prismo UniMax MOCVD 设备具有高能效和高产能等优势，创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于提升LED 波长均匀性。最多可同时加工164 片4 英寸或72 片6 英寸外延晶片。

    　　积极研发薄膜沉积设备：公司有超过十年单晶硅外延设备的经验，正研发硅和锗硅集成电路的EPI 设备，也正在开发导体类LPCVD 和导体类ALD，逐步突破薄膜沉积设备200 亿美元大赛道。

    　　我们预测公司2022-2024 年每股收益分别为1.70、2.28、3.17 元（原22-24 年预测分别为1.58、2.23、3.11 元，主要上调了刻蚀设备、MOCVD 的毛利率和投资收益预测），采用绝对估值法（FCFF），给予180.46 元目标价，维持买入评级。

    　　风险提示

    　　刻蚀设备国产化进度不及预期；半导体设备行业景气度不及预期；MiniLED 需求不及预期；政府补助下滑风险；零部件断供风险。