事件

    　　公司2022 年上半年实现营业收入19.72 亿元，同比增长47.30%；归母净利润4.68 亿元，同比增长17.94%；扣非归母净利润4.41亿元，同比增长615.26%。

    　　其中2022 年第二季度实现收入10.23 亿元，同比增长39.08%；归母净利润3.51 亿元，同比增长35.44%；扣非归母净利润2.54亿元，同比增长403.47%。

    　　简评

    　　上半年业绩表现超预期，多重因素为公司未来发展奠定基础①疫情封闭生产+加大业务开拓力度助力公司业绩超预期。2022年上半年公司营收为19.72 亿元，同比增长47.30%，表现超过预期。主要系：一是公司疫情期间进行封闭生产，有效减少损失；二是公司加大研发投入和业务开拓力度，刻蚀设备及MOCVD 设备等核心业务保持高速和稳定的增长。

    　　②毛利率上升+规模效应推动公司利润率增长。毛利端：公司上半年毛利率为45.36%，同比增加3.02pct，主要原因为刻蚀设备、MOCVD 设备（新品Prismo UniMax 毛利率更高）毛利率分别提升1.76pct、4.65pct；费用端：受益于规模效应，公司费用率有所下降，期间费用率下降6.77pct。综上，公司上半年扣非归母净利率为22.35%，同比增加17.75pct。

    　　③新签订单大幅提升保证公司未来业绩无虞。公司上半年新签订单为30.57 亿元，同比增长61.83%；上半年合同负债为15.94 亿元，相较于2021 年的13.72 亿元提升16.18%。二者均保持较高水准，为公司后续业绩增长提供保障。

    　　④新基地与新产品共同助力公司未来发展。产能方面，新的生产基地2022 年下半年起陆续投产不断扩充公司产能；新产品方面，新设备推出助力公司市场覆盖面不断扩大。以上二者将共同助力公司未来成长。

    　　晶圆处理设备：刻蚀设备收入占比过半仍为主要收入来源，薄膜设备蓄势待发打开新曲线①刻蚀设备：刻蚀设备2022 年上半年收入为12.99 亿元，同比增长51.48%，占公司总体营收的65.87%，毛利率为46.05%。公司CCP 刻蚀、ICP 刻蚀设备不断取得突破的同时，也在加紧大马士革工艺、极高深宽比工艺以及新一代刻蚀设备的研发。

    　　CCP 刻蚀设备：国内市占率领先，先进产品开发在途。上半年收入8.86 亿元，同比增长13.98%，增速较慢主要系收入确认节奏；产品侧，公司已完成8 英寸CCP 设备开发，并于上半年取得多个客户累计超30 腔订单。

    　　同时，公司正加紧新一代刻蚀设备的研发；客户侧，公司已取得5nm 及以下逻辑电路客户、64 层及128 层与更高层数3D NAND 客户重复订单。

    　　ICP 刻蚀设备：进入快速放量期，已获国内多个头部客户订单。上半年收入为4.13 亿元，同比增长414.08%，主要系该设备经历三年市场拓展阶段后，在多个客户端完成验证并开始放量。产品端，公司已推出Primo nanova、Primo Twin-star、Primo TSV200E 以及Primo TSV300E 多个产品系列，可覆盖逻辑、Memory、先进封装等多类型下游应用；客户侧，Primo nanova 系列已完成超15 家客户100 多个ICP 工艺验证，并持续取得国际先进3DNAND 客户批量订单；Primo Twin-star 则已在国内领先客户产线完成认证，并进入更多客户端验证。

    　　②薄膜设备：LPCVD 设备方面，2022 年上半年公司的钨填充CVD 设备获得了阶段性进展，该设备能够满足先进逻辑器件接触孔填充应用以及200 层以上3D NAND 中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，公司正积极推进设备在客户产线进行量产验证；EPI 设备方面，公司主要突破方向为先进制程中锗硅外延生长，来满足28nm 及以下的逻辑器件、存储器件和功率器件等领域客户的电性和可靠性需求，该设备目前已进入样机的制造和调试阶段。

    　　MOCVD 设备：氮化镓基MOCVD 绝对领先，氮化镓和碳化硅功率器件、Micro-LED MOCVD 加速开发中①高毛利新品放量带动整体盈利能力显著上扬。2022 年上半年MOCVD 设备收入2.41 亿元，同比增长9.90%，毛利率为35.42%，同比提升4.65pct。公司MOCVD 设备毛利率提升主要系公司推出的应用于Mini LED 显示屏的MOCVD 设备的毛利率较以往公司MOVCD 设备的25%左右提升至35%以上，且该产品推出后快速占领市场，因此对MOCVD 设备整体毛利率提升有显著贡献。

    　　②Mini-LED MOCVD顺利起量，多品类新品正在开发。公司新开发的用于Mini LED生产的MOCVD设备PrismoUniMax 实现了单腔41 片4 英寸外延芯片加工能力，该设备已在领先客户端累计取得180 腔订单；同时，公司在制造硅基氮化镓功率器件用MOCVD 设备已在客户芯片生产线上验证。此外，制造Micro LED 应用的新型MOCVD 设备以及用于碳化硅功率器件应用的外延设备等也正在开发中。

    　　投资建议： 公司为本土半导体刻蚀、MOCVD 设备龙头供应商，立足刻蚀、MOCVD 设备向薄膜沉积、外延等多类型设备拓展。原有设备领域不断进步以及新产品研发与新客户突破成为公司长期增长的重要动力来源，助推公司向平台型半导体设备企业迈进。预计公司2022-2024 年实现收入分别为48.32、68.14、89.54 亿元，归母净利润分别为11.36、15.56、20.23 亿元，同比分别增长12.3%、37.0%、30.0%，对应2022-2024 年PE 估值分别为77.4、56.5、43.5 倍，维持“买入”评级。

    　　风险因素：

    　　下游扩产不及预期：公司客户包含国内外知名厂商，若疫情、行业周期下行等导致下游投资、扩产意愿降低将影响公司产品销量。

    　　贸易摩擦加剧：中美等贸易摩擦可能会对公司海外客户拓展产生不利影响。

    　　新产品研发不及预期：若新产品研发不及预期，则会对其后续收入产生负面影响。