中微公司发布2022 年中报。公司上半年实现营收19.72 亿元，yoy+47.3%。归母净利润4.68 亿元，yoy+17.9%，扣非归母净利润4.41 亿元，yoy+615.3%。上半年综合毛利率45.4%，同比+3.0%，净利率23.7%，同比-5.9%。2022H1 非经常性损益同比减少3.1 亿元，其中主要是政府补助同比减少2.0 亿元，股权投资产生的公允价值变动收益同比减少1.8 亿元。

    　　刻蚀业务高速增长，MOCVD 今年潜力巨大。2022H1 刻蚀设备收入12.99 亿元，yoy+51.5%，毛利率达到 46.05%，其中CCP 刻蚀设备8.86 亿元，yoy+14.0%，ICP 刻蚀设备4.13 亿元，yoy+414.1%。mini LED 终端市场新品迭出，渗透率快速增长，行业投资火热。上半年MOCVD 设备收入2.41 亿元，yoy+9.9%，毛利率达到 35.4%，同比提升 4.7%，UniMax 订到超过180 腔，今年MOCVD 业务有望实现高增长。

    　　ICP 放量增长强劲，产品更新迭代，多领域布局。2021 年公司付运298 腔CCP、134腔ICP。2022 年初至今交付292 个反应台，截至2022 年6 月底，公司设备累计付运台数达 2654 个反应台。此外公司不断进行产品迭代并开发新品：

    　　【刻蚀】新品开发进展良好，将陆续进入市场。1）逻辑：新一代刻蚀设备、大马士革等刻蚀工艺；2）3D NAND：200 层以上极高深宽比的关键刻蚀应用；3）截止2022年6 月底，Primo Nanova 顺利交付超过220 台反应腔，正在开发ICP 下一代新品。

    　　【MOCVD】：1）硅基氮化镓功率器件用MOCVD 已在客户产线上验证；2）Micro LED用MOCVD 以及用于SiC 功率器件的外延设备等正在开发中。【CVD】：1）LPCVD已通过关键客户工艺验证，积极推进量产验证；2）ALD 研发中，可满足先进存储和逻辑器件金属阻挡层，以及先进逻辑器件中金属栅极的应用。【EPI】：用于28nm及以下的逻辑、存储和功率器件锗硅外延生长工艺，已进入样机制造和调试阶段。

    　　大力研发，人均创收达到国际先进水平。公司上半年研发投入3.5 亿元，同比增长20.9%，占营收比重17.6%。截至6 月底研发人员数量496 人，占员工总数41.4%，上半年人均年化营收已达到350 万元。公司2022H1 新签订单金额同比增长61.8%达30.6 亿元，6 月底公司合同负债15.9 亿元，公司在手订单饱满，南昌、临港等产业化及研发基地今明年陆续投产后，新增产能及研发空间将有力支撑长期增长。

    　　半导体刻蚀设备龙头，内生外延打造旗舰平台型企业。公司成功打造一支具有创造力和核心竞争力的技术团队。MOCVD 持续升级迎来Mini LED 拐点，CCP 产品涵盖国内外一线客户，ICP 产品快速迭代并放量，并布局沉积等新产品线，打造半导体设备旗舰企业，通过外延投资拓荆科技、睿励仪器、天岳先进等推进平台型建设。我们预计公司2022~2024 年归母净利润10.4/14.0/17.2 亿元，维持“买入”评级。

    　　风险提示：下游需求不及预期，新产品开发进展不及预期