扣非归母净利润同比增长615.26%

    　　公司发布2022 年中报，公司上半年实现营业收入19.71 亿元，同比增长47.3%，实现归属于母公司净利润4.68 亿元，同比增长17.94%，实现扣除非经常性损益4.41 亿元，同比增长615.26%，落在预告中枢偏上，符合我们预期。

    　　发展趋势

    　　2Q22 归母净利润率为34.3%，新签订单高速增长。公司2Q22 实现销售10.23 亿元，YoY+39%，归母净利润为3.51 亿元，YoY+35%，扣非归母净利润为2.54 亿元，YoY+403.47%，归母净利润率为34.3%，扣非归母净利润率为24.9%，环比均大幅增长。公司上半年新签订单为30.57 亿元，同比增长61.83%，存货为24.87 亿元，同比增长73.67%，在手订单充足。

    　　刻蚀设备同比增长51%，其中ICP销售收入增速较快。公司CCP刻蚀设备上半年实现收入8.86 亿元，YoY+13.98%，ICP刻蚀设备上半年实现收入4.13 亿元，YoY+414.08%，刻蚀设备毛利率为46.05%。其中，CCP设备已取得5 纳米及以下逻辑电路客户的重复订单，在64 层、128 层及更高层数3D NAND的生产线得到广泛应用，8 寸CCP刻蚀设备累计收到超过30腔订单。ICP设备工艺覆盖3D NAND芯片、DRAM芯片及逻辑芯片，部分工艺的刻蚀性能和量产指标已经满足客户的要求并顺利投入量产，且持续扩展到更多刻蚀应用的验证，截止到2022 年6 月底，Primo Nanova已经顺利交付超过220 台反应腔。

    　　新产品LPCVD已进入量产验证，外延等其他设备持续推进。公司开发的LPCVD设备已满足先进逻辑器件接触孔填充应用以及64 层、128 层和200 层以上3D NAND中的多个关键应用，目前已通过关键客户的工艺验证，并积极推进设备在客户产线进行量产验证。公司还在持续研发新的填充工艺方案，以满足更高深宽比接触孔及沟道电极的需求。公司的原子层沉积设备的研发也在积极推进中。此外公司用于先进制程中锗硅外延生长工艺的外延设备研发进展顺利，已进入样机的制造和调试阶段。

    　　盈利预测与估值

    　　我们维持公司盈利预测不变，预计2022/2023 年公司收入为47.12/67.38 亿元，归母净利润分别为10.69/13.75 亿元，当前股价对应2022/2023 年82.9/64.4x P/E，我们采用SOTP法对公司进行估值，由于半导体估值中枢上行，上调刻蚀机远期估值倍数至14x PS，上调目标价22.3%至159 元，较当前股价10.6%的提升空间，维持跑赢行业评级。

    　　风险

    　　下游晶圆厂扩产不及预期的风险，研发转化效率不及预期的风险，零部件交付周期延长的风险。