事件：公司发布2022H1 业绩预告，预计2022 年半年度实现营业收入约19.7 亿元，同比增长约47.1%；归母净利润为4.2 到4.8 亿元，同比增加5.89%到21.02%；扣非归母净利润为4.1 到4.5 亿元，同比增加565.42%到630.34%。

    　　扣非归母净利润表现亮眼，新增订单延续高增长：2022 年上半年，公司营收以及扣非归母净利润同比大增，主要原因为公司克服了疫情的不利影响，同时受益于设备市场发展以及公司产品竞争优势，公司2022 年上半年的业绩同比均有大幅增长。上半年公司归母净利润同比增速小于扣非归母净利润，主要原因为非经常性收益较上年同期减少约3.3 亿元，其中政府补助减少以及股权投资产生的公允价值变动收益减少有较大影响。从Q2 单季度来看，公司实现营收10.2 亿元，环比增长7%，归母净利润3.03 亿元-3.63 亿元，环比增长159%-210%。

    　　在订单方面，公司上半年新增订单约30.6 亿元，同比增长约62%，新签订单延续高增长。

    　　刻蚀设备优势明显，技术实力不断提升：在刻蚀设备方面，公司刻蚀设备已应用于全球先进的 7 纳米和 5 纳米集成电路加工制造生产线。在存储上，公司电容性等离子体刻蚀设备可应用于64 层和128 层的量产，正在开发新一代能够涵盖128 层及以上关键刻蚀应用以及相对应的极高深宽比的刻蚀设备和工艺。另外，公司电感性等离子刻蚀设备快速成长，已经在多个逻辑芯片和存储芯片厂商的生产线上量产，并在配合客户开发来满足5 纳米以下的逻辑芯片、1X 纳米的DRAM芯片和128 层以上的3D NAND 芯片等产品的ICP 刻蚀需求，并进行高产出的ICP 刻蚀设备的研发。

    　　拓展新品打开成长空间：在CVD 设备方面，公司应用于金属互联的CVD 钨制程设备能力已能够满足客户工艺验证的需求，产品正与关键客户对接验证。另外，公司还组建了EPI 设备研发团队，通过基础研究和采纳关键客户的技术反馈，已经形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案。此外，公司正在筹划开发 ALD 和 ALE ,等关键设备，未来半导体设备品类有望持续丰富。

    　　投资建议：我们预计公司2022 年~2024 年收入分别为43.95 亿元、61.21亿元、77.85 亿元，归母净利润分别为11.11 亿元、14.51 亿元、19.30亿元，维持“买入-A”投资评级。

    　　风险提示：下游需求衰减风险，市场竞争加剧风险，国产替代不及预期。