刻蚀业务高速增长，2022 年MOCVD 潜力巨大。公司2022Q1 收入9.49亿元，同比增长57%。其中刻蚀收入7.14 亿元，同比增长105%；由于公司新签Mini-LED MOCVD 设备规模订单一季度尚未确认收入， 22Q1MOCVD 收入0.42 亿元，同比下降69%。公司自2021 年起至2022 年4 月份Unimax MOCVD 订到超过180 腔，意味着今年MOCVD 业务有望实现高增长。报告期末，公司合同负债15 亿元，环比提升1.3 亿元；存货21 亿元，环比提升3.3 亿元，订单持续饱满。

    2022Q1 公司扣非净利润1.86 亿元，同比大幅增长。2022Q1 公司综合毛利率45.4%，同比提升4.6%，产品结构改善，盈利水平持续提升。扣非净利润的大幅增长主要得益于营收同比增长57%、毛利率同比提升4.55%。此外，本季度政府补助0.04 亿元（去年同期1.69 亿元）、公允价值变动损失1.01 亿元（去年同期损失0.24 亿元）。

    ICP 放量增长强劲，MOCVD 业务拐点来临。（1）公司2021 年付运CCP298 腔，产量增长40%，并取得5nm 及以下逻辑重复订单，且在128 层3D NAND 获得广泛应用。公司正在开发新一代涵盖128nm 及以上的关键刻蚀应用以及极高深宽比刻蚀设备。（2）公司2021 年付运ICP 134 腔，产量增长235%，得到多个国内客户订单。公司下一代ICP 目标满足5nm及以下逻辑、1X 纳米DRAM 及128 层以上3D NAND 刻蚀需求。（3）公司用于Mini LED 的Unimax 设备在2021 年至今订单超过180 腔。此外公司开发GaN 功率器件MOCVD，处于交付客户验证阶段。（4）公司在钨填充CVD 获得阶段性进展，与客户对接验证，且正进一步开发CVD 和ALD。公司持续加大研发投入力度，改善产品性能，根据客户需求定义下一代产品的技术指标及路线。通过不断完善研发管理及激励机制，巩固并提升公司核心竞争力。

    半导体刻蚀设备领跑者，持续打造平台型企业。中微公司已成功打造一支具有创造力和核心竞争力的技术团队。Mini LED 迎来拐点，MOCVD 持续升级满足客户需求。CCP 产品涵盖国内外一线客户，ICP 产品加速迭代放量，积极布局布局沉积等新产品线，打造半导体设备旗舰企业，并通过外延投资沈阳拓荆、睿励仪器等优质半导体设备公司推进平台型建设。预计公司2022~2024 年归母净利润10.4/14.0/17.2 亿元，维持“买入”评级。

    风险提示：新产品研发进展不及预期、下游需求不及预期。