本报告导读：

    　　受益刻蚀业务持续高增长，公司一季度业绩超预期。公司全面布局，刻蚀新品拓展顺利，MOCVD 高速成长，薄膜设备加速开发，未来高成长性确定。

    　　投资要点：

    　　维持“增持” 评级，下调目标价至144.64 元。CCP 设备进入5nm 及以下生产线，ICP 设备快速放量，MOCVD 和薄膜设备全面渗透，1Q22扣非后利润增长超预期，上调2022-2024 年EPS 为1.75、2.11、2.62元（原预测值2022-2023 年为1.18、1.63 元）。考虑到公司前道刻蚀设备迈入高速成长期，参考半导体设备行业估值，给予2022 年20 倍PS，下调目标价至144.64 元，维持“增持”评级。

    　　一季度业绩超预期，在手订单充足奠定全年高增基础。22Q1公司营收9.49 亿元，YOY+57.31%，刻蚀业务验收大幅提升（营收7.14 亿元，YOY+105.03%）。合同负债15 亿元，YOY+227.5%；存货21 亿元，YOY+71.43%，在手订单充足，公司全年业绩有望维持高速增长。

    　　刻蚀设备技术优势明显，市场认可度大幅提高，未来高成长性确定。

    　　CCP 设备成功进入5 nm 芯片生产线和下一代试生产线，在部分关键客户市场占有率进入前三位甚至前二位。ICP 设备通过诸多客户工艺认证并获得重复订单，21 年付运超180 腔，同比增长超过230%，预计未来收入增速将显著高于CCP。

    　　MOCVD设备高速成长，薄膜设备加速开发，公司全面布局卡位多个黄金赛道，成长可期。公司高性能Mini LED 量产的设备半年内收到订单合计已超过100 腔。薄膜设备领域的LPCVD、EPI 设备也已取得良好进展，ALD 和ALE 设备正在加速开发。

    　　风险提示。大陆晶圆产线建设不及预期；Mini LED 渗透不及预期。